Advanced Tip at the End of the Cantilever(AdvancedTEC™)

AdvancedTEC™ 센서 종류

AdvancedTEC™ 센서의 REAL Tip Visibility 에 의한 정밀한 위치 제어...
　

NANOSENSORS™ 의 AdvancedTEC™ 센서는 고해상도 이미지 획득을 목적으로 개발되었습니다. 이 프로브는 캔티레버의 최선단에 팁의 끝이 튀어 나오고 캔티레버의 팁있는 쪽의 선단이 삼각형으로 되어있는 사면체형 캔티레버입니다. 이러한 독특한 특징에 의하여 AdvancedTEC™은 정밀한 포지션닝이 가능하며 또한 세계에서 유일하게 원자현미경의 광학 현미경으로 실제로 팁을 볼 수 있는 프로브(REAL TIP VISIBILITY)입니다. 더욱 프로브가 마운팅으로 인한 기울어진 상태에서도 보입니다.

이것은 나노머니퓰레이션(nano manipulation)과 같이 팁이 보여야하고 필요한 위치에 정확히 위치시킬 필요가 있는 모든 응용분야에 최고의 선택입니다.

AdvancedTEC™ 센서의 Tip Shapte...

이 AdvancedTEC™ 프로브는 캔티레버의 최선단에 팁의 끝이 튀어 나오고 캔티레버의 팁있는 쪽의 선단이 삼각형으로 되어있는 사면체형 캔티레버입니다. 팁의 높이는 15 - 20 µm 이며 팁의 반원추각은 캔티레버의 축 방향을 따라 보면 12도 이하미고 측면에서 보면 8도 이하입니다. 팁 끝의 수 미크론에서의 반원추각은 5도 이하이며 완전히 끝 부분으로 경사를 가지면 최종 끝단에서는 사실상 0 도에 도달합니다. 팁의 반경은 통상 10 nm 이하이며 15 nm 이하를 보증합니다. 전면과 측면에서 보았을 때 마지막 1.5 µm 에서의 종횡비는 4:1 이상입니다. 이 AdvancedTEC™ Tip 은 높은 재현성의 뛰어난 기하학적인 구조와 극히 스므스한 표면으로 된 Real Crystal Plane 들에서 그 진가가 발휘됩니다.

이 프로브는 반원추각(half cone angle)이 매우 작기 때문에 급경사의 형상들을 작은 패턴을 가진 시료에서 매우 좋은 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 높은 도핑농도의 실리콘 단결정 센서는 정밀한 위치 제어 및 고 해상도의 이미징용으로 설계되었습니다

다음과 같은 센서에 대한 추가적인 특징이 있습니다. 　

AdvancedTEC™ 프로브의 모양과 특징 • 수직으로 위에서 실제 팁을 관찰가능 • 팁의 높이 15 - 20 µm • 통상 팁 반경이 10 nm 이하 • 실리콘 단결정 • 전면과 측면에서 보았을 때 마지막 1.5 µm 에서의 종횡비는 4:1 이상 • 팁의 원추각은 캔티레버의 축 방향을 따라 보면 12도 이하미고 측면에서 보면 8도 이하 • 높은 도핑 농도에 의한 정전기 방지 • 화학적으로 불활성 • 고감도에 적합한 높은 기계적 Q-factor
AdvancedTEC™ 프로브의 캔티레버 이 AdvancedTEC™ 프로브는 캔티레버의 최선단에 팁의 끝이 튀어 나오고 캔티레버의 팁있는 쪽의 선단이 삼각형으로 되어있는 사면체형 캔티레버입니다. 캔티레버의 형상은 그 응용 분야에 따라 길이 160-450 µm, 폭 20-50 µm, 두께 1-6 µm 범위를 갖습니다.
AdvancedTEC™ 프로브의 Holder AdvancedTEC™ 프로브의 캔티레버는 아래의 SPM 센서의 스케치에서 보듯이 실리콘 홀더에 부착되어 있습니다. AdvancedTEC™ 센서의 한 부분인 홀더는 센서를 이동하고 SPM에 고정하기 위한 것입니다. AdvancedTEC™ 센서의 교환시에 Detector 를 크게 조정하지 않도록 하기 위하여 형상의 칫수들은 매우 일정한 크기를 갖도록 설계되어 집니다.
AdvancedTEC™ 프로브의 재료 특성 이 AdvancedTEC™ 프로브는 실리콘으로 반도체 기술에 의하여 제조됩니다. 전기 저항은 0.01 - 0.025 Ohm*cm 정도로 작습니다. 팁, 캔티레버 홀더가 한 덩어리로 되어 있으며 센서의 재료는 실리콘 단결정이며 전기(정전) 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가 높습니다. 용액이나 전기화학용 셀에서 사용 가능하게 하기 위하여 화학적으로 불활성입니다. 고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였으며 주위 온도의 변화에 의한 불 필요한 휨이 되지 않도록 잘 설계되어 있습니다.

더 많은 정보가 필요하면 일반설명 을 보시면 됩니다.

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