NANOSENSORS™ SPM 센서들은 아주 높은 해상도의 이미지를 얻을 수 있는 원자현미경(AFM, SPM:주사 탐침 현미경) 용의 다용도 실리콘 캔티레버로서 모든 알려진 상업용 원자현미경에서 사용된다. 이프로브는 단결정의 실리콘 팁이 단결정의 실리콘 캔티레버에 통합되어 있다. 팁은 100도 방향이다. 캔티레버와 팁은 단결정의 홀더에 의해 지탱된다. NANOSENSORS™ SPM 센서의 3가지 구성요소는 팁,캔티레버 그리고 홀더인데 한덩어리로 되어 있다. 다음은 프로브의 각 구성 요소에 대한 자세한 설명입니다.
팁은 맨아래 부위가 다각형으로되어 있는 피라미드 모양이다. 거시적으로 반원추각은 캔티레버의 방향에 따라 봤을 때 20° 에서 25° 사이이고 옆에서 봤을 때 25° 에서 30° 사이이다. 이 모양은 팁의 선단에서 변한다. 마지막 200 nm 에서는 팁의 꼭지점의 각은 거시적인 각도 상으로는 가상적으로 거의 끝 부분에서 0° 가 된다. 팁 선단의 반경은 보통 10nm 보다 더 작다. 이 값은 다른 기술들로 접근할 수 있는 한계를 훨씬 넘는 더 이상 접근하기 어려운 최고의 해상도를 얻는다. 팁들의 특징들은 다음과 같습니다.(예외 : SuperSharpSilicon 센서)
캔티레버의 단면은 다음의 잇점 때문에 사다리 꼴로 되어 있다. • 캔티레버의 검출부는 광검출장치의 레이져빔을
쉽게 조정하게 하기 위하여 훨씬 넓게 되어 있고 반면에
스프링 상수와 관계되는 캔틸레버의 평균 넓이는 훨씬
작다. 응용분야에 따라 , 캔티레버의 길이 , 넓이 그리고
두께는 각각 다른데 길이는 125 µm에서 450 µm ,넓이는
20 µm에서 60 µm, 두께는 0.3 µm 에서 8
µm 이다. 특별한 응용분야를 위하여
위의 표준 범위를 넘는 규격을 가진 특별한 것도 제작
공급합니다.
홀더의 각 구석 부분을 못 따기하여 설계되어 있어서 이렇게 하지 않았을 경우에 센서나 시료의 기울어짐에 의해 일어날 수 있는 홀더와 시료의 원하지 않은 접촉을 피할 수 있게 하였다.
NANOSENSORS™ silicon SPM 센서들은 고유한 특징을 갖도록 고밀도로 도핑된 단결정 실리콘을 이용하여 제조합니다. • 실리콘은 반도체 기술에서
잘알려진 재료입니다. 도핑된 실리콘의 높은 전도성은 정전 포화를 막을
수 있다. 저항은 0.01 에서 0.025 옴 cm 정도이다.
모든 센서는 간단히 부착되는 GelPak™ 박스에 넣어서 판매되며 포장단위는 여러 종류가 있습니다. 대부분의 센서는 10 개, 20개, 50개 및 370 ~ 380개 이상의 센서를 포함한 웨이퍼 단위로 포장이 됩니다. 실제적인 포장단위에 대해서는 제품안내를 통하여 각 제품의 내역을 참고하시면 됩니다. 또 몇 종류의 팁을 한개의 박스에 포장한 평가용 키트도 판매합니다. •
Evaluation
Kit1
Nanosensors는 주사탐침현미경의 다양한 응용분야에 적용할 수 있게 force constant가 0.01N/m 에서 100N/m 이고 또 resonance frequence가 10kHz 에서 600kHz인 넓은 범위의 다양한 센서를 공급한다. 구체적인 응용분야는 다음과 같습니다. • Contact-mode AFM(PPP-CONT)
위에 제시된 force constant와 resonance frequency를 벗어나는 것(1 MHz 이상도 가능) 또는 팁이 없는 프로브등 사용자가 특별히 요구하는 프로브들을 특별 주문 제작을 하고 있습니다. 다음에 특별 주문에 의해 제작된 팁들을 소개합니다. • High
Q-Factor Sensors(UHV)(PPP-QNCHR/PPP-QFMR...)
좌측 그림은 2 µm 두께의 캔티레버 반사면을 코팅하지 않은 반사 강도이며 우측은 반사 코팅을 한 반사 강도를 파장에 따라 그림 그래프입니다.강도는 보통 벌크 실리콘이 1 입니다.
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팁(Tip)
센서는 다음과 같은 종류의 코팅이 제공되고 있습니다.
