HighAspectRatio Sensors


High Aspect Ratio ¼¾¼­ÀÇ Á¾·ù
AR5-NCHR Silicon-SPM-Sensor for non-contact- / tapping-mode™, HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio >= 5:1,detector side: Al-coating (optional available without coating)
AR5T-NCHR TILT COMPENSATED HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™, HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio >= 5:1, tilt compensation 13¡Æ, detector side: Al-coating (optional available without coating)
AR10-NCHR HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™, HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio >= 10:1, detector side: Al-coating (optional available without coating)
AR5-NCLR High Aspect Ratio Sensor,silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™, long cantilever,HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio ? 5:1,detector side: Al-coating (optional available without coating)

High Aspect Ratio ¼¾¼­´Â...

High Aspect Ratio ¼¾¼­´Â 90¢ª ¿¡ °¡±î¿î sidewall °¢À» °¡Áø ½Ã·áÀÇ Non-Contact ¶Ç´Â Tapping™ Mode ÃøÁ¤À» À§Çؼ­ °ÅÀÇ ¼öÁ÷ÀÇ sidewallÀ» °¡Áø High Aspect Ratio ¼¾¼­ÀÔ´Ï´Ù. ¾Æ·¡ÀÇ ÁÂÃø ±×¸²Àº ÆÁ ³¡ÀÇ ¼ö µm ºÎÀ§¸¦ È®´ëÇÑ °ÍÀÔ´Ï´Ù. AR5 ¸ðµ¨ÀÇ ÆÁÀº ÆÁÀÇ ³¡ºÎºÐÀÇ 2 µm ¿¡¼­ÀÇ Åë»óÀûÀÎ Aspect Ratio °¡ 7:1 ·Î¼­ half cone angle Àº 5¡Æ ÀÌÇϰ¡ µË´Ï´Ù. AR10 ¸ðµ¨ÀÇ ÆÁÀº ÆÁÀÇ ³¡ºÎºÐÀÇ 1.5 µm ¿¡¼­ÀÇ Åë»óÀûÀÎ Aspect Ratio °¡ 12:1 ·Î¼­ half cone angle Àº 2.8¡Æ ÀÌÇϰ¡ µË´Ï´Ù. ÆÁ ³¡Àº NANOSENSORS™ ¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î ÆÁ ³¡ÀÇ Åë»óÀûÀÎ ¹Ý°æÀÌ 10 nm º¸´Ù ´õ ÁÁ´Ù. ÀÌ HAR ¼¾¼­´Â Àß ¸¸µé¾îÁø NANOSENSORS™ÀÇ non contact / tappingTM mode ¼¾¼­ ( NCH ) ¸¦ ±âº»À¸·Î ÇÏ¿© Á¦Á¶µÈ´Ù. µû¶ó¼­ ¼¾¼­ÀÇ ±âÇÏÇÐÀû ¸ð¾çÀº Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê ¼¾¼­¿Í °°°í ³ôÀº µ¿ÀÛÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» °®°í À־ °í¼Ó ½ºÄµÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. 

¡¡

NANOSENSORS™ ÀÇ High Aspect Ratio ¼¾¼­ÀÇ °øÁ¤¿¡¼­ ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀÇ ÇìµåÀÇ ¸¶¿îÆ®¿¡¼­ ¿ä±¸µÇ¾îÁö´Â °¢µµÀÇ º¸Á¤ÇÑ »õ·Î¿î ¸ðµ¨À» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. Áï, ÆÁÀÇ ³¡ 2 µm ºÎºÐÀÌ ÆÁÀÇ Áß½ÉÃà¿¡ µ¥ÇÏ¿© 13¡Æ ±â¿ï¾îÁý´Ï´Ù. ÀÌ Æ¯Â¡Àº ´õ¿í ´ëμºÀÖ´Â ½ºÄµÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Çϱ⠶§¹®¿¡ °ÅÀÇ ¼öÁ÷¿¡ °¡±î¿î sidewall À» ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. 

¸ðµç high aspect ratio ÆÁ(¼¾¼­)µéÀº Àß ¼³Á¤µÈ SFM ¼¾¼­ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ µû¶ó Á¦Á¶µË´Ï´Ù. Ȧ´õ ¹× ĵƼ·¹¹ö´Â NANOSENSORS™ SFM sensors µé°ú µ¿ÀÏÇÕ´Ï´Ù.

HighAspectRatio ¼¾¼­ÀÇ Æ¯Â¡
• HAR ºÎºÐÀÇ ±æÀÌ´Â Åë»óÀûÀ¸·Î °¢°¢ 1.5 µm ¶Ç´Â 2 µm ÀÌ»óÀÔ´Ï´Ù. 
• AR5 ¸ðµ¨ÀÇ °æ¿ì ¸¶Áö¸· ºÎºÐ 2 µm ¿¡¼­ÀÇ Åë»óÀûÀÎ ARÀº ¾à 7:1 ÀÌ´Ù. ÃÖ¼ÒÇÑ 5:1 ÀÇ ARÀ» º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.
• AR10 ¸ðµ¨ÀÇ °æ¿ì ¸¶Áö¸· ºÎºÐ 1.5 µm ¿¡¼­ÀÇ Åë»óÀûÀÎ ARÀº ¾à 12:1 ÀÌ´Ù. ÃÖ¼ÒÇÑ 10:1 ÀÇ ARÀ» º¸ÀåÇÕ´Ï´Ù.
• µû¶ó¼­ °¢°¢ÀÇ ¹Ý¿øÃß°¢(half cone angle)Àº Åë»ó 5¡Æ ¶Ç´Â 2.8¡Æ º¸´Ù ÀÛ½À´Ï´Ù.
• ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº Åë»ó 10 nm º¸´Ù ÁÁ´Ù. ÃÖ¼ÒÇÑ 15 nm¸¦ º¸ÀåÇÑ´Ù. 
• ƿƮ º¸»óµÇ´Â Ưº°ÇÑ ÆÁÀº½ºÄµ ÇìµåÀÇ Æ¿Æ®¸¦ º¸»óÇÏ¿© ÁÝ´Ï´Ù.
• ÆÁÀÇ Àüü ³ôÀÌ´Â 10 µm ¿¡¼­ 15 µm ·Î¼­ »ó´çÈ÷ °ÅÄ£ Ç¥¸éÀ» ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
• ¼¾¼­ÀÇ ³¡ ºÎºÐ »Ó¾Æ´Ï¶ó Àüü°¡ Çѵ¢¾î¸®ÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ´Ü°áÁ¤À¸·Î Á¦Á¶µÇ±â ¶§¹®¿¡ ³ôÀº Lateral stiffness ¿Í rigidity ¸¦ °®°í ÀÖ½À´Ï´Ù. 

À¯¿ëÇÑ HighAspectRatio ¼¾¼­ ŸÀÔ
ÀÌ HighAspectRatio™ ÆÁ ¸ð¾çÀº ¾Æ·¡¿Í °°À̰ÅÀÇ ¸ðµç  non contact / TappingMode™ ¼¾¼­¿¡ À¯¿ëÇÕ´Ï´Ù.:

AR5-NCHR
AR5T-NCHR
AR10-NCHR
AR5-NCLR

HighAspectRatio ¼¾¼­ÀÇ ÀÀ¿ë»ç·Ê

<¾ð¸®ÄÆ ±¸Á¶ÀÇ À̹ÌÁö>

<ÀÏ¹ÝÆÁ°ú HARÆÁÀ¸·Î ÃøÁ¤ÇÑ À̹ÌÁö>¿ÞÂÊ ±×¸²ÀÇ À§´Â 1.7 µm ³ôÀ̸¦ °¡Áø ¾ð´õ ÄÆ ±¸Á¶¸¦ °¡Áø ½Ã·á¸¦ Ç¥ÁØ ¼¾¼­ÀÎ Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê NCH ¼¾¼­·Î ¾Æ·¡´Â Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê AR5-NCH ¼¾¼­·Î µ¿ÀÏÇÑ ¿µ¿ªÀ» ½ºÄµÇÑ °ÍÀÌ´Ù. 

À§ÀÇ À̹ÌÁö´Â ¾Æ·¡ÀÇ ¾ð´õÄÆÀ» °¡Áø ½Ã·á¸¦ µÎ°¡Áö Á¾·ùÀÇ ¼¾¼­¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ½ÇÇèÇÑ ÀÀ¿ë¿¹ ÀÔ´Ï´Ù. À§ ±×¸²ÀÇ À­ÂÊ À̹ÌÁö´Â Ç¥ÁØ ¼¾¼­ÀÎ NANOSENSORS™ ÀÇ NCH ¼¾¼­·Î ȹµæÇÑ À̹ÌÁöÀÔ´Ï´Ù. ¾Æ·§ÂÊÀº NANOSENSORS™ ÀÇ AR5-NCH ¼¾¼­·Î À­Âʰú µ¿ÀÏÇÑ ¿µ¿ªÀ» ½ºÄµÇÑ °ÍÀÔ´Ï´Ù. À§ ±×¸²ÀÇ ¿ìÃø¿¡ ÀÖ´Â ´Ü¸éµµ¿Í ºÐ¼®Ç¥¿¡ ÀÇÇÏ¸é ¾Æ·§ÂÊÀÇ À̹ÌÁö¿¡¼­ sidewall ÀÌ ´õ °¡ÆÄ¸¥ °ÍÀ» ºÐ¸íÈ÷ ¾Ë ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿©±â¼­ Ç¥ÁØ NCH ¼¾¼­¿¡¼­ ÆÁÀÇ °¢ÀÌ 65.7¢ª¿¡¼­ 72.3¢ª À̰í AR5-NCH ¼¾¼­¿¡¼­´Â 85.5¢ª¿¡¼­ 87.6¢ª ÀÎ °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

NANOSENSORS™ / POINTPROBE¢ç ´Â NanoWorld AG ÀÇ µî·Ï»óÇ¥ÀÔ´Ï´Ù.

¡¡