HighAspectRatio 센서... nanosensors

height="129"> NANOSENSORS™ 동일합니다.

HighAspectRatio 센서의 특징
• HAR 부분의 길이는 통상적으로 각각 1.5 µm 또는 2 µm 이상입니다.
• AR5 모델의 경우 마지막 부분 2 µm 에서의 통상적인 AR은 약 7:1 이다. 최소한 5:1 의 AR을 보장합니다.
• AR10 모델의 경우 마지막 부분 1.5 µm 에서의 통상적인 AR은 약 12:1 이다. 최소한 10:1 의 AR을 보장합니다.
• 따라서 각각의 반원추각(half cone angle)은 통상 5° 또는 2.8° 보다 작습니다.
• 팁의 반경은 통상 10 nm 보다 좋다. 최소한 15 nm를 보장한다.
• 틸트 보상되는 특별한 팁은스캔 헤드의 틸트를 보상하여 줍니다.
• 팁의 전체 높이는 10 µm 에서 15 µm 로서 상당히 거친 표면을 측정할 수 있습니다.
• 센서의 끝 부분 뿐아니라 전체가 한덩어리의 실리콘 단결정으로 제조되기 때문에 높은 Lateral stiffness 와 rigidity 를 갖고 있습니다.

유용한 HighAspectRatio 센서 타입
이 HighAspectRatio™ 팁 모양은 아래와 같이거의 모든 non contact / TappingMode™ 센서에 유용합니다.:

AR5-NCHR
AR5T-NCHR
AR10-NCHR
AR5-NCLR

High Aspect Ratio 센서의 종류

AR5-NCHR Silicon-SPM-Sensor for non-contact- / tapping-mode™, HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio >= 5:1,detector side: Al-coating (optional available without coating)

AR5T-NCHR TILT COMPENSATED HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™, HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio >= 5:1, tilt compensation 13°, detector side: Al-coating (optional available without coating)

AR10-NCHR HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™, HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio >= 10:1, detector side: Al-coating (optional available without coating)

AR5-NCLR High Aspect Ratio Sensor,silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™, long cantilever,HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio ? 5:1,detector side: Al-coating (optional available without coating)

High Aspect Ratio 센서는...

High Aspect Ratio 센서는 90˚ 에 가까운 sidewall 각을 가진 시료의 Non-Contact 또는 Tapping™ Mode 거의 수직의 sidewall을 가진 High Aspect Ratio 센서입니다. 팁 끝의 수 µm 부위를 확대한 것입니다. AR5 모델의 팁은 팁의 끝부분의 2 µm 에서의 통상적인 Aspect Ratio 가 7:1 로서 half cone angle 은 5° 이하가 모델의 팁은 팁의 끝부분의 1.5 µm 에서의 통상적인 Aspect Ratio 가 12:1 로서 half cone angle 은 2.8° 이하가 됩니다. 팁 끝은 NANOSENSORS™ 와 마찬가지로 팁 끝의 통상적인 반경이 10 nm 보다 더 좋다. 이 HAR 센서는 잘 만들어진 NANOSENSORS™의 non contact / tapping^TM mode 센서 ( NCH ) 를 기본으로 하여 제조된다. 따라서 센서의 기하학적 모양은 포인트 프로브 센서와 같고 높은 동작의 안정성을 갖고 있어서 고속 스캔이 가능합니다

NAN 의 High Aspect Ratio 센서의 공정에서 원자현미경의 헤드의 마운트에서 요구되어지는 각도의 보정한 새로운 모델을 제공합니다. 즉, 팁의 끝 2 µm 부분이 팁의 중심축에 데하여 13° 기울어집니다. 이 특징은 더욱 대칭성있는 스캔을 할 수 있도록 하기 때문에 거의 수직에 가까운 sidewall 을 측정할 수 있습니다.

모든 high aspect ratio 팁(센서)들은 잘 설정된 SFM 센서 제조 공정에 따라 제조됩니다. 홀더 및 캔티레버는 SFM sensors 들과 height="202" cellspacing="0"> face="굴림"> 측정을 위해서 class="IABotherdark">아래의 됩니다. AR10 . align="right" width="200" height="324"> width="322" height="200"> OSENSORS™ height="155">

HighAspectRatio 센서의 응용사례

<언리컷 구조의 이미지>

<일반팁과 HAR팁으로 측정한 이미지>왼쪽 그림의 위는 1.7 µm 높이를 가진 언더 컷 구조를 가진 시료를 표준 센서인 포인트 프로브 NCH 센서로 아래는 포인트 프로브 AR5-NCH 센서로 동일한 영역을 스캔한 것이다.

위의 이미지는 아래의 언더컷을 가진 시료를 두가지 종류의 센서를 사용하여 실험한 응용예 입니다. 위 그림의 윗쪽 이미지는 표준 센서인 NANOSENSORS™ 의 NCH 센서로 획득한 이미지입니다. 아랫쪽은 NANOSENSORS™ 의 AR5-NCH 센서로 윗쪽과 동일한 영역을 스캔한 것입니다. 위 그림의 우측에 있는 단면도와 분석표에 의하면 아랫쪽의 이미지에서 sidewall 이 더 가파른 것을 분명히 알 수 있습니다. 여기서 표준 NCH 센서에서 팁의 각이 65.7˚에서 72.3˚ 이고 AR5-NCH 센서에서는 85.5˚에서 87.6˚ 인 것을 알 수 있습니다.