NANOSENSORS^TM SSS-NCH 센서는 원자현미경에서 Attractive mode 또는 Dynamic mode 로 잘 알려진 난콘텍모드 또는 탭핑모드^TM 용으로 설계되었습니다. 이 센서는 뛰어난 감도와 빠른 주사능력을 가지며 높은 동작 안정성을 가집니다. 나노 구조 연구 또는 나노거칠기 연구에서 개선된 해상도를 얻도록하기 위하여 이 SSS-NCH 센서의 팁을 비교할 수 없이 뾰족하게 만들기 위하여 새로운 진보된 기술을 적용하였습니다.　

　

SuperSharpSilicon 센서의 응용사례  <개선된 해상도의 image> 아래 이미지는 "A" 라는 글자를 포인트 프로브 DT-NCHR 센서를 가지고 나노 스트럭쳐링에 의해 만든 것이다.  이미지는 DT-NCHR 센서로 인덴테이션후에 표준 포인트 프로브 NCH 센서로 획득한 것으로 팁의 지름이 DT_NCHR 센서로 인텐팅하여 얻은 구멍들 보다 커서 구멍들의 bulged sidewall 들만 관찰된다.  오른쪽 이미지는 SuperSharpSilicon 센서 SSS-NCH 센서로 획득한 것으로 팁의 더 뾰족하게 되어 있어서 구멍의 실제의 넓이, 깊이, 그리고 bulged sidewall 들이 관찰된다.

표준 NANOSENSORS™의 NCH 센서로 획득한 이미지(왼쪽)와 SuperSharpSilicom 센서 SSS-NCH 센서로 획득한 이미지이다

　

SSS-NCH 프로브의 모양과 특징 • 통상적인 팁의 반경은 2nm이하 • 팁의 반경은 5nm이하 보증한다. • 반원추각은 팁 끝부분 200 nm에서 10˚ 보다 좋다. • 통상적으로 팁의 선단에서 200 nm 범위의 Aspect Ratio는 4 대 1 정도입니다. • 팁의 높이는 10 μm에서 15 μm 사이로 상당히 거친 시료 표면을 측정 할 수 있다. • 팁, 캔티레버 및 홀더가 한 덩어리로 되어 있다. • 고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다. • 센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다 • 정전 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가 높다. • 화학적으로 불활성이다.

더 많은 정보가 필요하면 일반설명 을 보시면 됩니다.

　

SSS-NCH 기술 자료

NANOSENSORS™ / POINTPROBE™는 NanoWorld AG 의 등록상표입니다.