SSS-NCL 센서... nanosensors

SSS-NCL

SuperSharpSilicon^TM - Non-contact / Tapping^TM mode - Long cantilever

NANOSENSORS™의 SSS-NCL 센서는 원자현미경에서 Attractive mode 또는 Dynamic mode 로 잘 알려진 난콘텍모드 또는 탭핑모드^TM 용으로 설계되었습니다. NANOSENSORS™의 SSS-NCL 센서는 SSS-NCH 센서 (non-contact / high frequency)의 또 하나의 선택입니다.

이 센서는 원자현미경의 궤환회로(feeback 회로)가 높은 주파수(예:400 KHz)에서 동작하지 않거나 검출장치가 최소 캔티레버의 길이를 125 µm를 넘는 것을 필요로 하는 경우에 적합합니다.

고주파용 NCH 타입의 센서에 비하여 최대 주사 속도는 다소 떨어집니다. 이 센서는 뛰어난 감도와 빠른 주사능력을 가지며 높은 동작 안정성을 가집니다. 나노 구조 연구 또는 나노거칠기 연구에서 개선된 해상도를 얻도록하기 위하여 이 SSS-NCL 센서의 팁을 비교할 수 없이 뾰족하게 만들기 위하여 새로운 진보된 기술을 적용하였습니다. 　

SuperSharpSilicon 센서의 응용사례

<개선된 해상도의 image>

아래 이미지는 "A" 라는 글자를 포인트 프로브 DT-NCHR 센서를 가지고 나노 스트럭쳐링에 의해 만든 것이다. 이미지는 DT-NCHR 센서로 인덴테이션후에 표준 포인트 프로브 NCH 센서로 획득한 것으로 팁의 지름이 DT_NCHR 센서로 인텐팅하여 얻은 구멍들 보다 커서 구멍들의 bulged sidewall 들만 관찰된다. 오른쪽 이미지는 SuperSharpSilicon 센서 SSS-NCH 센서로 획득한 것으로 팁의 더 뾰족하게 되어 있어서 구멍의 실제의 넓이, 깊이, 그리고 bulged sidewall 들이 관찰된다.

표준 NANOSENSORS™의 NCH 센서로 획득한 이미지(왼쪽)와 SuperSharpSilicom 센서 SSS-NCH 센서로 획득한 이미지이다

　

SSS-NCL 프로브의 모양과 특징
• 통상적인 팁의 반경은 2nm이하
• 팁의 반경은 5nm이하 보증한다.
• 반원추각은 팁 끝부분 200 nm에서 10˚ 보다 좋다.
• 통상적으로 팁의 선단에서 200 nm 범위의 Aspect Ratio는 4 대 1 정도입니다.
• 팁의 높이는 10 μm에서 15 μm 사이로 상당히 거친 시료 표면을 측정 할 수 있다.
• 팁, 캔티레버 홀더가 한덩어리로 되어 있다.
• 고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다.
• 센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다
• 정전 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가 높다.
• 화학적으로 불활성이다.

더 많은 정보가 필요하면 일반설명 을 보시면 됩니다.

　

SSS-NCL 기술 자료

	Typical Value	Specified Values
Thickness /μm	7	6.0 - 8.0
Mean Width /μm	38	30 - 45
Length /μm	225	215 - 235
Force Constant /(N/m)	48	21 - 98
Resonance Frequency /kHz	190	146 - 236

125µm 이하의 캔티레버를 요구하는 응용분야를 위해 포인트프로브 SSS-NCH 를 사용하면 됩니다.

더 많은 정보가 필요하면 일반설명 , SuperSharpSilicon 센서 의 설명, High Aspect Ratio 센서 의 설명, 그리고 Diamond Coated 센서 의 설명을 참고하시면 됩니다.

SSS-NCL 주문코드, 포장단위, 코팅

SSS-NCL 센서는 다음 형태의 선적 단위가 있습니다.

주문 코드	포장단위	Data Sheet	코팅
SSS-NCL-10#	10	모든 센서	없음
SSS-NCL-20#	20	모든 센서	없음
SSS-NCL-50	50	없음	없음
SSS-NCL-W*	> 370	32개 센서까지	없음

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