SSS-NCL |
SuperSharpSiliconTM
- Non-contact
/ TappingTM
mode - Long cantilever |
NANOSENSORS™ÀÇ SSS-NCL
¼¾¼´Â ¿øÀÚÇö¹Ì°æ¿¡¼ Attractive
mode ¶Ç´Â Dynamic mode ·Î Àß
¾Ë·ÁÁø ³ÄÜÅØ¸ðµå
¶Ç´Â ÅÇÇθðµåTM
¿ëÀ¸·Î
¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
NANOSENSORS™ÀÇ SSS-NCL ¼¾¼´Â
SSS-NCH ¼¾¼
(non-contact / high frequency)ÀÇ ¶Ç ÇϳªÀÇ ¼±ÅÃÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌ
¼¾¼´Â ¿øÀÚÇö¹Ì°æÀÇ ±Ëȯȸ·Î(feeback ȸ·Î)°¡
³ôÀº Á֯ļö(¿¹:400 KHz)¿¡¼
µ¿ÀÛÇÏÁö ¾Ê°Å³ª
°ËÃâÀåÄ¡°¡ ÃÖ¼Ò
ĵƼ·¹¹öÀÇ ±æÀ̸¦ 125 µm¸¦
³Ñ´Â °ÍÀ» ÇÊ¿ä·Î
ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡
ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù. °íÁÖÆÄ¿ë
NCH ŸÀÔÀÇ ¼¾¼¿¡ ºñÇÏ¿© ÃÖ´ë
ÁÖ»ç ¼Óµµ´Â ´Ù¼Ò
¶³¾îÁý´Ï´Ù. ÀÌ
¼¾¼´Â ¶Ù¾î³ °¨µµ¿Í
ºü¸¥ ÁÖ»ç´É·ÂÀ»
°¡Áö¸ç ³ôÀº µ¿ÀÛ
¾ÈÁ¤¼ºÀ» °¡Áý´Ï´Ù. ³ª³ë ±¸Á¶ ¿¬±¸ ¶Ç´Â
³ª³ë°ÅÄ¥±â ¿¬±¸¿¡¼
°³¼±µÈ ÇØ»óµµ¸¦
¾òµµ·ÏÇϱâ À§ÇÏ¿© ÀÌ
SSS-NCL ¼¾¼ÀÇ ÆÁÀ» ºñ±³ÇÒ
¼ö ¾øÀÌ »ÏÁ·ÇϰÔ
¸¸µé±â À§ÇÏ¿© »õ·Î¿î
Áøº¸µÈ ±â¼úÀ»
Àû¿ëÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¡¡
¡¡
SuperSharpSilicon
¼¾¼ÀÇ ÀÀ¿ë»ç·Ê
<°³¼±µÈ ÇØ»óµµÀÇ image>
¾Æ·¡ À̹ÌÁö´Â "A" ¶ó´Â ±ÛÀÚ¸¦ Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê
DT-NCHR ¼¾¼¸¦ °¡Áö°í ³ª³ë ½ºÆ®·°Ãĸµ¿¡ ÀÇÇØ ¸¸µç
°ÍÀÌ´Ù. À̹ÌÁö´Â DT-NCHR ¼¾¼·Î Àε§Å×À̼ÇÈÄ¿¡ Ç¥ÁØ Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê NCH ¼¾¼·Î ȹµæÇÑ °ÍÀ¸·Î ÆÁÀÇ Áö¸§ÀÌ
DT_NCHR ¼¾¼·Î ÀÎÅÙÆÃÇÏ¿© ¾òÀº ±¸¸Ûµé º¸´Ù Ä¿¼ ±¸¸ÛµéÀÇ bulged sidewall µé¸¸ °üÂûµÈ´Ù. ¿À¸¥ÂÊ À̹ÌÁö´Â
SuperSharpSilicon
¼¾¼ SSS-NCH ¼¾¼·Î ȹµæÇÑ °ÍÀ¸·Î ÆÁÀÇ ´õ »ÏÁ·ÇÏ°Ô µÇ¾î ÀÖ¾î¼ ±¸¸ÛÀÇ ½ÇÁ¦ÀÇ ³ÐÀÌ, ±íÀÌ, ±×¸®°í bulged
sidewall µéÀÌ °üÂûµÈ´Ù. |
 |
Ç¥ÁØ NANOSENSORS™ÀÇ NCH
¼¾¼·Î ȹµæÇÑ À̹ÌÁö(¿ÞÂÊ)¿Í SuperSharpSilicom ¼¾¼ SSS-NCH ¼¾¼·Î ȹµæÇÑ À̹ÌÁöÀÌ´Ù |
|
|
¡¡
SSS-NCL ÇÁ·ÎºêÀÇ ¸ð¾ç°ú Ư¡
• Åë»óÀûÀÎ
ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº 2nmÀÌÇÏ
• ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº 5nmÀÌÇÏ º¸ÁõÇÑ´Ù.
• ¹Ý¿øÃß°¢Àº
ÆÁ ³¡ºÎºÐ 200 nm¿¡¼ 10¢ª
º¸´Ù ÁÁ´Ù.
• Åë»óÀûÀ¸·Î ÆÁÀÇ ¼±´Ü¿¡¼ 200 nm ¹üÀ§ÀÇ
Aspect Ratio´Â 4 ´ë 1 Á¤µµÀÔ´Ï´Ù.
• ÆÁÀÇ
³ôÀÌ´Â 10 ¥ìm¿¡¼ 15 ¥ìm »çÀÌ·Î »ó´çÈ÷ °ÅÄ£
½Ã·á Ç¥¸éÀ» ÃøÁ¤ ÇÒ
¼ö ÀÖ´Ù.
• ÆÁ,
ĵƼ·¹¹ö Ȧ´õ°¡
Çѵ¢¾î¸®·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.
• °í°¨µµ¸¦ À§ÇØ ³ôÀº
±â°èÀû Q-factor¸¦ °®°Ô ÇÏ¿´´Ù.
• ¼¾¼ÀÇ
ÁÖ¿äÇÑ Àç·á´Â ½Ç¸®ÄÜ
´Ü°áÁ¤ÀÌ´Ù
• Á¤Àü
ÃæÀüÀ» ¹æÁöÇϱâ
À§ÇÏ¿© µµÇÎ ³óµµ°¡
³ô´Ù.
• ÈÇÐÀûÀ¸·Î
ºÒȰ¼ºÀÌ´Ù.
|
 |
´õ ¸¹Àº
Á¤º¸°¡ ÇÊ¿äÇϸé
ÀϹݼ³¸í
À» º¸½Ã¸é
µË´Ï´Ù.
¡¡
SSS-NCL
±â¼ú ÀÚ·á |
¡¡ |
Typical Value
|
Specified Values
|
Thickness /¥ìm |
7
|
6.0 - 8.0
|
Mean Width /¥ìm |
38
|
30 - 45
|
Length /¥ìm |
225
|
215 - 235
|
Force Constant /(N/m) |
48
|
21 - 98
|
Resonance Frequency /kHz |
190
|
146 - 236
|
SSS-NCL
ÁÖ¹®ÄÚµå, Æ÷Àå´ÜÀ§, ÄÚÆÃ
SSS-NCL ¼¾¼´Â ´ÙÀ½ ÇüÅÂÀÇ ¼±Àû ´ÜÀ§°¡
ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
ÁÖ¹® ÄÚµå |
Æ÷Àå´ÜÀ§ |
Data Sheet |
ÄÚÆÃ |
SSS-NCL-10# |
10
|
¸ðµç
¼¾¼ |
¾øÀ½ |
SSS-NCL-20# |
20
|
¸ðµç
¼¾¼ |
¾øÀ½ |
SSS-NCL-50 |
50 |
¾øÀ½ |
¾øÀ½ |
SSS-NCL-W* |
> 370 |
32°³
¼¾¼±îÁö |
¾øÀ½ |
NANOSENSORS™
/ POINTPROBE™´Â NanoWorld AG
ÀÇ µî·Ï»óÇ¥ÀÔ´Ï´Ù.
|