SuperSharpSilicon Sensors


SuperSharpSilicon 센서의 종류
SSS-NCH SUPER SHARP SILICON™-SPM-Sensor for non-contact- / tapping-mode™
SSS-NCHR SuperSharpSilicon™ - Non-Contact / Tapping mode - High Resonance Frequency - Reflex Coating
SSS-NCL SuperSharpSilicon-SPM-Sensor, silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™, long cantilever,with SuperSharpSilicon tip
SSS-NCLR SuperSharpSilicon™ - Non-Contact / Tapping Mode - Long Cantilever - Reflex Coating
SSS-SEIH SuperSharpSiliconTM-SPM-Sensor,silicon cantilever for non-contact / tapping-mode™, special type A,with SuperSharpSilicon tip
SSS-SEIHR SuperSharpSilicon™ - SEIKO Microscopes - Non-Contact / Tapping Mode - High Force Constant - Reflex Coating

SuperSharpSilicon 센서는...

NANOSENSORS™ 에서는 나노구조 및 마이크로 거칠기의 개선된 해상도를 위하여 새로운 진보된 팁 생산공정을 개발하여 이 공정을 통하여 기존의 팁의 반경보다 훨씬 뛰어난 팁의 반경 2 nm <우측 그림> 이하인 극히 뾰족한 팁을 만들고 있다. 

나노 센서의 이러한 새로운 것에 대한 노력은 팁의 연구 개발 및 생산 기술에서 세계를 선도하고 있습니다. 

SuperSharpSilicon 센서는 포인트 프로브 비접촉식/탭핑모드용 NCH 또는  SEIHR 를 기본으로 하여 만듭니다. 따라서 센서의 기하학적인 모양은 포인트 프로브 센서들과 같습니다.   

이것들의 기계적인 특성은 매우 높은 동작 안정도를 갖고 있어서 고속 주사가 가능하다.

캔티레버의 기계적인 특성들은 각 SuperSharp Silicon 센서 각각의 설명을 참조바랍니다.   

 더 많은 정보는 포인트 프로브 센서의 NCH  ,  SEIHR ,및 일반 설명 을 참조하십시오.

<유용한 센서 타입>
이 SuperSharpSilicon™ 팁 모양은 아래와 같이거의 모든  non contact / TappingMode™ 센서에 유용합니다.:

SSS-NCH
SSS-NCL
SSS-SEIH

아래는 SuperSharpSilicon 센서의 진보된 모양과 관련사항입니다. 

SuperSharpSilicon 센서의 특징

• 통상 supersharpsilicom 팁의 반경을 약 2 nm보다 좋다. 
• 보증되는 팁의 반경이 5 nm 이하이다 (보증되는 생산율:80%)
• 반원추각은 팁 끝부분 200 nm에서 10˚ 보다 좋다.
• 팁의 높이는 10 µm에서 15 µm 사이로 상당히 거친 시료 표면을 측정 할 수 있다.

더 많은 정보는 NANOSENSORS™의 NCH 및 일반 설명 을 참조하십시오.　

SuperSharpSilicon 센서의 응용사례 

<개선된 해상도의 image>

아래 이미지는 "A" 라는 글자를 포인트 프로브 DT-NCHR 센서를 가지고 나노 스트럭쳐링에 의해 만든 것이다.  이미지는 DT-NCHR 센서로 인덴테이션후에 표준 포인트 프로브 NCH 센서로 획득한 것으로 팁의 지름이 DT_NCHR 센서로 인텐팅하여 얻은 구멍들 보다 커서 구멍들의 bulged sidewall 들만 관찰된다.  오른쪽 이미지는 SuperSharpSilicon 센서 SSS-NCH 센서로 획득한 것으로 팁의 더 뾰족하게 되어 있어서 구멍의 실제의 넓이, 깊이, 그리고 bulged sidewall 들이 관찰된다. 

표준 NANOSENSORS™의 NCH 센서로 획득한 이미지(왼쪽)와 SuperSharpSilicom 센서 SSS-NCH 센서로 획득한 이미지이다.

NANOSENSORS™ / POINTPROBE® 는 NanoWorld AG 의 등록상표입니다.