다양한 포인트프로브(일반) |
나노센서의 포인트 프로브는 잘알려진 모든 상업용 주사 탐침 현미경(SPM)에서 매우 높은 해상도의 이미지를 얻을 수 있는 다용도의 실리콘 주사탐침 현미경 프로브입니다. 다음과 같은 응용 분야에 따라 여러 종류의 프로브들이 생산되고 있으며 여기에 없는 프로브들도 특별 주문 제작되고 있습니다.
| Contact Mode(CONT), Non Contact / Tapping™ Mode - High Frequency(NCH), Non Contact / Tapping™ Mode - Low Frequency(NCL), Force Modulation(FM), Lateral Force(LFM), Electrostatic Force(EFM), Magnetic Force(MFM), Contact Mode - Special(ZEILR), Non Contact/Tapping™ Mode - Special A(ZEIHR), Non Contact/Tapping™ Mode - Special B(SEIHR), Alignment Chip(ALIGN), x-y-Calibration Standard(CALIB) |
POINTPROBE®
Contact Mode Sensors(CONT)
- ered Type -
콘텍 모드 주사 탐침 현미경에서는 나노센서의 포인트 프로브(Pointprobe®) 센서중에서 CONT(접촉식)가 유용합니다. 이 센서는 Low force constant를 갖고 있어 고감도용으로 최적화되어 있습니다. 센서에 대한 기술 자료는 아래 표와 같습니다. 특별한 표면처리(코팅)이 가능합니다. 다음과 같은 센서에 대한 추가적인 특징이 있습니다.
 |
CONT 팁과
켄티레버의 모양 |
•
통상적인 팁의 반경은 10nm이하
•
팁, 캔티레버 홀더가 한덩어리로 되어 있다.
•
센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다.
•
전기(정전) 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가
높다.
• 화학적으로
불활성이다.
•
고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
|
CONT 기술 자료 |
|
Typical Value |
Typical Range |
Specified Values |
|
| Thickness /µm |
2 |
1.5 - 2.5 |
1.0 - 3.0 |
| Mean Width /µm |
50 |
45 - 55 |
42.5 - 57.5 |
| Length /µm |
450 |
445 - 455 |
440 - 460 |
| Force Constant /(N/m) |
0.2 |
0.07 - 0.4 |
0.02 - 0.77 |
| Resonance Frequency /kHz |
13 |
10 - 17 |
6 - 21 |
|
포인트프로브 콘택모드 센서(CONT)는 3가지 형태의 선적 단위가 있습니다. 또한 선택적으로 캔티레버의 반사면에 코팅을 한 센서와 전체를 PtIr5코팅을 한 것도 유용합니다. |
|
주문코드 |
수량 |
Data Sheet |
코팅 |
|
|
CONT-16 |
16 |
모든 센서 |
안함 |
|
|
CONT-50 |
50 |
없음 |
안함 |
|
|
CONT-W |
385 |
32개 센서까지 |
안함 |
|
|
CONTR-16 |
16 |
모든 센서 |
reflex |
|
|
CONTR-50 |
50 |
없음 |
reflex |
|
|
CONTR-W |
385 |
32개 센서까지 |
reflex |
|
|
CONTPt-16 |
16 |
모든 센서 |
PtIr5 |
|
|
CONTPt-50 |
50 |
없음 |
PtIr5 |
|
|
CONTPt-W |
385 |
32개 센서까지 |
PtIr5 |
주) PtIr5 코팅을 한 팁을 접촉식 모드에서 사용하면 코팅 부분이 마모되어 전기 전도도를 급격히 감소시킬 수 있습니다.
POINTPROBE®
Non Contact / TappingTM-Mode Sensors(NCH)
- High Frequency -
인력모드(Attractive mode)또는 동적모드(Dynamic mode)라고도 불려지는 비접촉모드(Non contact mode) 또는 탭핑모드(TappingTM mode) 주사 탐침 현미경에서는 포인트 프로브센서 NCH(non-contact / high frequency)가 적합합니다. 이 센서는 뛰어난 감도와 빠른 주사능력을 가지며 높은 동작 안정성을 가집니다. 이 센서들은 극히 높은 해상도의 이미지를 얻을 수 있는 SuperSharpSilicon(SSS) 센서 ,거의 수직에 가까운 측벽이 측정가능한 High Aspect Ratio(HAR)센서 그리고 단단한 물질을 뚫거나 마모 시험을 하는 등 시료와 팁사이에 극히높은 힘을 필요로 하는 용도에 적합한 다이아몬드로 표면 처리를 한 Diamond Coated(DT) 센서와 같은 특별한 형식의 센서로도 공급가능합니다. 센서에 대한 기술 자료는 아래 표와 같습니다. 특별한 표면처리(코팅)이 가능합니다. 다음과 같은 센서에 대한 추가적인 특징이 있습니다.
|
NCH 팁과 켄티레버의 모양 |
•
통상적인 팁의 반경은 10nm이하(SuperSharpSilicon은 통상
2nm이하)
• 팁,
캔티레버 홀더가 한덩어리로 되어 있다.
•
센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다.
•
전기(정전) 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가
높다.
• 화학적으로
불활성이다.
•
고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
|
NCH 기술 자료 |
|
Typical Value |
Typical Range |
Specified Values |
|
| Thickness /µm |
4 |
3.5 - 4.5 |
3.0 - 5.0 |
| Mean Width /µm |
30 |
25 - 35 |
22.5 - 37.5 |
| Length /µm |
125 |
120 - 130 |
115 - 135 |
| Force Constant /(N/m) |
42 |
21 - 78 |
10 - 130 |
| Resonance Frequency /kHz |
330 |
260 - 410 |
210 - 490 |
|
125µm를 넘는 캔티레버를
요구하는 응용분야를 위해 포인트프로브 NCL를
사용하면 됩니다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명, SuperSharpSilicon(SSS) 센서의 설명, High Aspect Ratio 센서의 설명, 그리고 Diamond Coated 센서의 설명을 참고하시면 됩니다. |
|
포인트프로브 비접촉식/탭핑모드 센서(NCH)는 3가지 형태의 선적 단위가 있습니다. 또한 선택사양으로 캔티레버의 반사면에 코팅을 한 센서와 전체를 PtIr5코팅을 한 것도 유용합니다. |
| 주문 코드 |
수량 |
Data Sheet |
코팅 |
|
| NCH-16 |
16 |
of all sensors | 안함 | |
|
NCH-50 |
50 |
without |
안함 | |
|
NCH-W |
385 |
of up to 32 sensors |
안함 | |
|
NCHR-16 |
16 |
of all sensors |
reflex | |
|
NCHR-50 |
50 |
without |
reflex | |
|
NCHR-W |
385 |
of up to 32 sensors |
reflex | |
|
NCHPt-16 |
16 |
of all sensors |
PtIr5 | |
|
NCHPt-50 |
50 |
without |
PtIr5 | |
|
NCHPt-W |
385 |
of up to 32 sensors |
PtIr5 | |
|
8 |
of all sensors |
안함 | ||
|
SSS-NCH-16 |
16 |
of all sensors |
안함 | |
|
SSS-NCH-50 |
50 |
without |
안함 | |
|
SSS-NCH-W |
380 |
of up to 32 sensors |
안함 | |
|
AR5-NCHR-8 |
8 |
of all sensors |
reflex | |
|
AR5-NCHR-16 |
16 |
of all sensors |
reflex | |
|
AR5-NCHR-50 |
50 |
without |
reflex | |
|
AR5-NCHR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
reflex | |
|
AR5T-NCHR-8 |
8 |
of all sensors |
reflex | |
|
AR5T-NCHR-16 |
16 |
of all sensors |
reflex | |
|
AR5T-NCHR-50 |
50 |
without |
reflex | |
|
AR5T-NCHR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
reflex | |
|
DT-NCHR-8 |
8 |
of all sensors |
diamond and reflex | |
|
DT-NCHR-16 |
16 |
of all sensors |
diamond and reflex | |
|
DT-NCHR-50 |
50 |
without |
diamond and reflex | |
|
DT-NCHR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
diamond and reflex | |
|
CDT-NCHR-8 |
8 |
of all sensors |
conductive diamond and reflex | |
|
CDT-NCHR-16 |
16 |
of all sensors |
conductive diamond and reflex | |
|
CDT-NCHR-50 |
50 |
without |
conductive diamond and reflex | |
|
CDT-NCHR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
conductive diamond and reflex |
|
<실리콘 표면에서의 실제 원자 해상도> UHV에서 포인트 프로브 센서를 가지고 측정한 Si (111) 7x7의 Non contact AFM image(Omicron 증정)
|
|
 |
|
| Si(111) 7x7의 AFM image , Image 크기 10x10 nm2 | |
POINTPROBE®
Non Contact / Tapping®-Mode Sensors
(NCL)
- Low Frequency -
인력모드(Attractive mode)또는 동적모드(Dynamic mode)라고도 불려지는 비접촉모드(Non contact mode) 또는 탭핑모드(TappingTM mode) 주사 탐침 현미경에서는 포인트 프로브센서 NCH(non-contact / high frequency)의 또 하나의 선택으로 포인트 프로브 센서 NCL이 유용합니다. 이 센서는 주사 탐침 현미경의 궤환회로(feeback 회로)가 높은 주파수(예:400 KHz)에서 동작하지 않거나 검출장치가 최소 캔티레버의 길이를 125 µm를 넘는 것을 필요로 하는 경우에 적합합니다. 이 센서는 뛰어난 감도와 빠른 주사능력을 가지며 높은 동작 안정성을 가집니다. 고주파용 NCH센서에 비하여 최대 주사 속도는 다소 떨어집니다. 이 센서들은 극히 높은 해상도의 이미지를 얻을 수 있는 SuperSharpSilicon(SSS) 센서 ,거의 수직에 가까운 측벽이 측정가능한 High Aspect Ratio(HAR)센서 그리고 단단한 물질을 뚫거나 마모 시험을 하는 등 시료와 팁사이에 극히높은 힘을 필요로 하는 용도에 적합한 다이아몬드로 표면 처리를 한 Diamond Coated(DT) 센서와 같은 특별한 형식의 센서로도 공급가능합니다. 센서에 대한 기술 자료는 아래 표와 같습니다. 특별한 표면처리(코팅)이 가능합니다. 다음과 같은 센서에 대한 추가적인 특징이 있습니다.
|
NCL 팁과 켄티레버의 모양 |
• 통상적인 팁의 반경은 10nm이하(SuperSharpSilicon은 통상
2nm이하)
• 팁,
캔티레버 홀더가 한덩어리로 되어 있다.
•
센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다.
•
전기(정전) 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가
높다.
• 화학적으로
불활성이다.
• 고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
|
NCL 기술 자료 |
| Typical Value | Typical Range | Specified Values | |
| Thickness /µm |
7 |
6.5 - 7.5 |
6.0 - 8.0 |
| Mean Width /µm |
38 |
32.5 - 42.5 |
20 - 45 |
| Length /µm |
225 |
220 - 230 |
215 - 235 |
| Force Constant /(N/m) |
48 |
31 - 71 |
21 - 98 |
| Resonance Frequency /kHz |
190 |
170 - 210 |
150 - 230 |
|
포인트프로브 비접촉식/탭핑모드 센서(NCL)는 3가지 형태의 선적 단위가 있습니다. 또한 선택사양으로 캔티레버의 반사면에 코팅을 한 센서와 전체를 PtIr5코팅을 한 것도 유용합니다. |
| 주문 코드 |
수량 |
Data Sheet |
코팅 |
|
| NCL-16 |
16 |
of all sensors | 안함 | |
|
NCL-50 |
50 |
without |
안함 | |
|
NCL-W |
385 |
of up to 32 sensors |
안함 | |
|
16 |
of all sensors |
reflex | ||
|
NCLR-50 |
50 |
without |
reflex | |
|
NCLR-W |
385 |
of up to 32 sensors |
reflex | |
|
8 |
of all sensors |
안함 | ||
|
SSS-NCL-16 |
16 |
of all sensors |
안함 | |
|
SSS-NCL-50 |
50 |
without |
안함 | |
|
SSS-NCL-W |
380 |
of up to 32 sensors |
안함 | |
|
8 |
of all sensors |
reflex | ||
|
AR5-NCLR-16 |
16 |
of all sensors |
reflex | |
|
AR5-NCLR-50 |
50 |
without |
reflex | |
|
AR5-NCLR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
reflex | |
|
8 |
of all sensors |
diamond and reflex | ||
|
DT-NCLR-16 |
16 |
of all sensors |
diamond and reflex | |
|
DT-NCLR-50 |
50 |
without |
diamond and reflex | |
|
DT-NCLR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
diamond and reflex | |
|
8 |
of all sensors |
conductive diamond and reflex | ||
|
CDT-NCLR-16 |
16 |
of all sensors |
conductive diamond and reflex | |
|
CDT-NCLR-50 |
50 |
without |
conductive diamond and reflex | |
|
CDT-NCLR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
conductive diamond and reflex |
|
<Insulator상에서의 실제 원자 해상도> 포인트 프로브 센서 NCL센서를 가지고 측정한 NaCl(001)의 Non contact AFM image(University of Basel 증정)
|
|
 |
|
| NaCl(001)의 AFM image , Image 크기 4.5x4.0 nm2 | |
POINTPROBE® Force Modulation Sensors (FM)
힘 변조 주사 탐침 현미경(Force modulation microscopy)용으로 FM이라고 하는 특별한 포인트 프로브 센서가 있습니다. 이 센서의 힘 상수(Force constant)는 접촉식 모드의 것과 비접촉식 모드의 것의 중간 정도의 값을 갖습니다. 이 센서는 자기력 현미경(MFM : Magnetic force microscopey)용 센서의 기본이 됩니다. 이 센서를 마그네틱 코팅을 하여 포인트프로브 MFM센서(Pointprobe® Magnetic Force Sensor)을 만듭니다. 작동 안정도는 조금 떨어지지만 비접촉식 / 탭핑 모드에서 사용할 수 있습니다. 이 센서는 다이아몬드 코팅이 가능합니다. DT-FMR 센서라로 하는 이 다이아 몬드 코팅된 팁은 시료와 팁사이에 상당히 높은 접촉이나 높은 마모 저항을 요구하는 응용분야용으로 주문 제작도니 것입니다. 예를 들면 부드러운 접촉이 필요하지 않은 시료와 팁 사이의 의 마찰의 측정 이나 시료의 탄성의 측정에 사용됩니다. 센서에 대한 기술 자료는 아래 표와 같습니다. 특별한 표면처리(코팅)이 가능합니다. 다음과 같은 센서에 대한 추가적인 특징이 있습니다.
|
FM 팁과 켄티레버의 모양 |
• 통상적인 팁의 반경은 10nm이하(SuperSharpSilicon은 통상
2nm이하)
• 팁,
캔티레버 홀더가 한덩어리로 되어 있다.
•
센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다.
•
전기(정전) 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가
높다.
• 화학적으로
불활성이다.
• 고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
|
FM 기술 자료 |
|
Typical Value |
Typical Range |
Specified Values |
|
| Thickness /µm |
3 |
2.5 - 3.5 |
2.0 - 4.0 |
| Mean Width /µm |
28 |
22.5 - 32.5 |
20 - 35 |
| Length /µm |
225 |
220 - 230 |
215 - 235 |
| Force Constant /(N/m) |
2.8 |
1.2 - 5.5 |
0.5 - 9.5 |
| Resonance Frequency /kHz |
75 |
60 - 100 |
45 - 115 |
|
포인트프로브 비접촉식/탭핑모드 센서(FM)는 3가지 형태의 선적 단위가 있습니다. 또한 선택사양으로 캔티레버의 반사면에 코팅을 한 센서와 전체를 PtIr5코팅을 한 것도 유용합니다. |
| 주문 코드 |
수량 |
Data Sheet |
코팅 |
|
| FM-16 |
16 |
of all sensors | 안함 | |
|
FM-50 |
50 |
without |
안함 | |
|
FM-W |
385 |
of up to 32 sensors |
안함 | |
|
FMR-16 |
16 |
of all sensors |
reflex | |
|
FMR-50 |
50 |
without |
reflex | |
|
FMR-W |
385 |
of up to 32 sensors |
reflex | |
|
EFM-16 |
16 |
of all sensors |
PtIr5 | |
|
EFM-50 |
50 |
without |
PtIr5 | |
|
EFM-W |
380 |
of up to 32 sensors |
PtIr5 | |
|
DT-FMR-8 |
8 |
of all sensors |
diamond and reflex | |
|
DT-FMR-16 |
16 |
of all sensors |
diamond and reflex | |
|
DT-FMR-50 |
50 |
without |
diamond and reflex | |
|
DT-FMR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
diamond and reflex | |
|
CDT-FMR-8 |
8 |
of all sensors |
conductive diamond and reflex | |
|
CDT-FMR-16 |
16 |
of all sensors |
conductive diamond and reflex | |
|
CDT-FMR-50 |
50 |
without |
conductive diamond and reflex | |
|
CDT-FMR-W |
380 |
of up to 32 sensors |
conductive diamond and reflex |
|
<힘 변조 주사 탐침 현미경> 이 이미지는 포인트 프로브의 FM 센서를 가지고 트리 블럭 폴리머의 이미지를 얻은 것으로 좌측은 형태(Topoography)이고 우측은 탄성도 이미지이다. 우측의 이미지에서 어두운 부분이 밝은 부분보다 더 단단하다.(Shell Development Company에서 측정 Digital Instruments에서 증정) |
|
 |
|
| Triblock polymer의 AFM과 FM 이미지, Image 크기 900x900 nm2 | |
POINTPROBE® Lateral Force Sensors(LFM)
마찰력 측정 주사 탐침 현미경(lateral force microscopy)에는 포인트프로브의 LFM 센서를 사용하면 됩니다. 이센서는 극히 부드럽고 얇아서 측바으로 작용하는 힘을 고감도로 감지하도록 최적화되어 있습니다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다. 또 특별한 코팅관련 정보는 포인트프로브의 코팅을 참고하시면 됩니다.
|
LFM 기술 자료 |
| Typical Value | Typical Range | Specified Values | |
| Thickness /µm |
1 |
0.5 - 1.5 |
0.1 - 2.0 |
| Mean Width /µm |
48 |
42.5 - 52.5 |
40 - 55 |
| Length /µm |
225 |
220 - 230 |
215 - 235 |
| Force Constant /(N/m) |
0.2 |
0.02 - 0.7 |
0 - 1.87 |
| Resonance Frequency /kHz |
23 |
10 - 39 |
0 - 57 |
POINTPROBE® Electrostatic Force Sensors(EFM)
EFM용으로는 팁의 전기전도도를 증가시키기 위해 캔터레버의 양측 모든면에 PtIr5 이라는 금속 코팅을 한 포인트프로브 EFM 센서가 적합합니다.
이 센서의 힘 상수는 탭핑모드와 리포트모드에서 동시에
작동가능하게 되어 있으며 매우 높은 힘의 감도를 갖도록 한
EFM용으로 특별히 주문된 것이다.
다음과 같은 센서에 대한 추가적인 특징이 있습니다.
|
EFM 팁과 켄티레버의 모양 |
• 통상적인 팁 반경은 25mm보다
좋다.
• 전기전도도가 있다.
• 고감도를 위한 높은 기계적인
Q factor 를 갖고 있다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
|
EFM 기술 자료 |
| Typical Value | Typical Range | Specified Values | |
| Thickness /µm |
3 |
2.5 - 3.5 |
2.0 - 4.0 |
| Mean Width /µm |
28 |
22.5 - 32.5 |
20 - 35 |
| Length /µm |
225 |
220 - 230 |
215 - 235 |
| Force Constant /(N/m) |
2.8 |
1.2 - 5.5 |
0.5 - 9.5 |
| Resonance Frequency /kHz |
75 |
60 - 90 |
45 - 115 |
| Tip Radius |
typ. better than 25 nm |
POINTPROBE® Magnetic Force Sensors(MFM)
MFM용으로는 포인트프로브 MFM 센서가 유용하다.
이 센서의 힘 상수는 탭핑모드와 리포트모드에서 동시에
작동 가능하게 되어 있으며 매우 높은 힘의 감도를 갖도록 한
MFM용으로 특별히 주문된 것이다. 이 센서는 팁면에 강한 자계를 갖도록
강자화표면처리(hard magnetic coating)를 하여 높은 자계의
대비(high magnetic contrast)와
100mm 보다 더 좋은 높은 측면 해상도(high lateral resolution)를 갖도록 최적화 하였다.
다음과 같은 센서에 대한 추가적인 특징이 있습니다.
|
MFM 팁과 켄티레버의 모양 |
• 통상적인 팁 반경은 25mm보다
좋다.
• 전기전도도가 있다.
• 고감도를 위한 높은 기계적인
Q factor 를 갖고 있다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
|
MFM 기술 자료
MFM용 포인트프로브 실리콘 캔티레버는 통상 힘상수가 2.8 N/m, 통상 공진 주파수가 75KHz이며 캔티레버의 팁면은 강 자계 표면처리가 되어 있고, 검출면은 반사 표면처리가 되어 있습니다. |
| Typical Value | Typical Range | Specified Values | |
| Thickness /µm |
3 |
2.5 - 3.5 |
2.0 - 4.0 |
| Mean Width /µm |
28 |
22.5 - 32.5 |
20 - 35 |
| Length /µm |
225 |
220 - 230 |
215 - 235 |
| Force Constant /(N/m) |
2.8 |
1.2 - 5.5 |
0.5 - 9.5 |
| Resonance Frequency /kHz |
75 |
60 - 100 |
45 - 115 |
| Tip Radius |
typ. better than 50 nm |
||
|
포인트프로브 MFM 센서(MFM)는 3가지 형태의 선적 단위가 있습니다. |
| 주문 코드 |
수량 |
Data Sheet |
코팅 |
|
| MFM-16 |
16 |
of all sensors | hard magnetic coating and reflex | |
|
MFM-50 |
50 |
without |
hard magnetic coating and reflex | |
|
MFM-W |
385 |
of up to 32 sensors |
hard magnetic coating and reflex |
|
<자기력 주사 탐침 현미경> 1 µm 와
250 nm 의 극히 작은 자계 비트들을 가진 얇은 필림을 포인트 프로브
MFM 센서를 가지고 측정한 이미지입니다.
좌측은 시료표면의 형태(topography)이고 우측은 MFM 이미지 입니다.
우측의 토포그라피 상에서 보이는 디스크위의 오염이
우측의 MFM 이미지에서는 보이지 않는다. |
|
 |
|
| 이미지 크기 14 x 14 µm2 (약 54 KByte) | |
이 전처리는 nanosensors 가 하는 것이 아니고 사용자에 의해 행해집니다. 약한 자성체는 팁에 의해 영항을
받을 수 있습니다.
POINTPROBE® Contact Mode Sensors(ZEILR)- Special Application -
Zeiss Veritekt 또는 Seiko Instruments 주사 탐침 현미경에서 접촉 모드(Contact mode)를 사용하는 경우는 포인트 프로브 센서중에서 ZEILR (Zeiss Veritekt / low force constant)를 사용하면 됩니다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
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ZEILR 기술 자료 |
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Typical Value |
Typical Range |
Specified Values |
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| Thickness /µm |
4 |
3.5 - 4.5 |
3.0 - 5.0 |
| Mean Width /µm |
55 |
50 - 60 |
47.5 - 62.5 |
| Length /µm |
450 |
445 - 455 |
440 - 460 |
| Force Constant /(N/m) |
1.6 |
1.0 - 2.6 |
0.6 - 3.9 |
| Resonance Frequency /kHz |
27 |
23 - 31 |
19 - 35 |
POINTPROBE® Non Contact/Tapping? Mode Sensors(ZEIHR)- Special Application A -
Zeiss Veritekt 주사 탐침 현미경에서 스텝 모드(Non Contact Mode)를 사용하는 경우는 포인트 프로브 센서중에서 ZEIHR (Zeiss Veritekt / high force constant)를 사용하면 됩니다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
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ZEIHR 기술 자료 |
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Typical Value |
Typical Range |
Specified Values |
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| Thickness /µm |
5 |
4.5 - 5.5 |
4.0 - 6.0 |
| Mean Width /µm |
57 |
52.5 - 62.5 |
50 - 65 |
| Length /µm |
225 |
220 - 230 |
215 - 235 |
| Force Constant /(N/m) |
27 |
17 - 41 |
10 - 60 |
| Resonance Frequency /kHz |
130 |
110 - 150 |
98 - 177 |
POINTPROBE® Non Contact/Tapping® Mode Sensors(SEIHR)- Special Application B -
Seiko Instruments 주사 탐침 현미경에서 비 접촉 모드(Non Contact Mode)를 사용하는 경우는 포인트 프로브 센서중에서 SEILR (Seiko Insruments / High force constant)를 사용하면 됩니다.
더 많은 정보가 필요하면 일반 설명을 보시면 됩니다.
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ZEILR 기술 자료 |
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Typical Value |
Typical Range |
Specified Values |
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| Thickness /µm |
5 |
4.5 - 5.5 |
4.0 - 6.0 |
| Mean Width /µm |
33 |
27.5 - 37.5 |
25 - 40 |
| Length /µm |
225 |
220 - 230 |
215 - 235 |
| Force Constant /(N/m) |
15 |
9 - 25 |
5 - 37 |
| Resonance Frequency /kHz |
130 |
110 - 150 |
96 - 175 |
Alignment Chip(ALIGN)
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Alignment chip (ALIGN)은 포인트프로브 센서를 자동화, 센서의 재사용 및 센서의 교환등의 목적으로 센서의 위치를 매우 정밀하게 조정하여 검출장치또는 이송 장치에 오차를 줄여 줄 수가 있다. 이 정렬용 칲은 위의 SEM 사진에서와 같이 3 개의 센서를 위치시키기 위한 날이 있어서 모든 포인트프로브 센서의 홀더 뒷면에 있는 홈과 정확히 일치한다. 이러한 정렬하는 방법으로 포인트프로브를 사용할 경우 주사 탐침 현미경은 센서를 +/- 5 µm 이내의 오차로 정확히 위치를 맞출 수 있다. 정렬 칲은 9 개가 1 세트로 되어 있습니다.
규격:
전장 : 3400 (+/- 50) µm
전폭 : 2900 (+/- 50) µm
코팅 : 크롬(Chromium)
x-y-Calibration Standard(CALIB)
표준시료는 주사 시스템의 아주 정밀한 수평 방향의 주사 교정 및 센서 팁의 빠른 품질 검사에 사용된다.(표준 시료의 원자 현미경의 이미지 내려 받기-약 30KB) 표준시료는 실리콘 칲에 에칭을 하여 만든 200nm 피치를 가진 인버티드 스퀘어 피라미드의 2차원 격자이다. 다음은 표준시료의 특징입니다.
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Pitch: |
200 nm |
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Accuracy of pyramid position: |
+/-5 nm |
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Accuracy of pitch (5 x 5 µm2 scan): |
+/- 0.1 % |
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Accuracy of pitch (large scans): |
+/- (30nm / scan length) |
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Edge length of square pyramids: |
100 nm |
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Absolute accuracy of edge length: |
+/- 20 nm |
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Relative accuracy of edge length: |
+/- 5 nm |
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Sidewall angle (versus wafer surface): |
54.7° |
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Accuracy of sidewall angle: |
+/- 0.5° |
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Depth of pyramids: |
70 nm |
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Chip size: |
7 x 7 mm |
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Active area: |
500 x 500 µm2 |
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Number of pyramids: |
6.25 x 106 |
AFM 팁으로 피라미드를 이미징할 때 피라미드의 Normal 깊이에 비교하여 피라미드의 분명한 깊이가 팁 반경의 거세 교정에 사용될 수 있다. 최대 각보다 분명히 더 작은 측벽(sidewall)각은 피라미드의 원추각(70°) 보다 더큰 팁의 원추각때문이다.실리콘 칲은 보통 지름이 12mm인 쇠로 된 시료 홀더에 붙어 있다.
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