LFM
Lateral force microscopy

¸¶Âû·Â ÃøÁ¤ ÁÖ»ç Žħ Çö¹Ì°æ(lateral force microscopy)¿¡´Â Æ÷ÀÎÆ®ÇÁ·ÎºêÀÇ LFM ¼¾¼­¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é µË´Ï´Ù. ÀÌ ¼¾¼­´Â ±ØÈ÷ ºÎµå·´°í ¾ã¾Æ¼­ Ãø¹æÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÏ´Â ÈûÀ» °í°¨µµ·Î °¨ÁöÇϵµ·Ï ÃÖÀûÈ­µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶Ç Ưº°ÇÑ ÄÚÆÃ°ü·Ã Á¤º¸´Â  ÄÚÆÃ À» Âü°íÇÏ½Ã¸é µË´Ï´Ù. 
LFM ÇÁ·ÎºêÀÇ ¸ð¾ç°ú Ư¡ 

Åë»óÀûÀÎ ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº 10nmÀÌÇÏ(SuperSharpSiliconÀº Åë»ó 2nmÀÌÇÏ)
ÆÁ, ĵƼ·¹¹ö Ȧ´õ°¡ Çѵ¢¾î¸®·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.
¼¾¼­ÀÇ ÁÖ¿äÇÑ Àç·á´Â ½Ç¸®ÄÜ ´Ü°áÁ¤ÀÌ´Ù.
Àü±â(Á¤Àü) ÃæÀüÀ» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© µµÇÎ ³óµµ°¡ ³ô´Ù.
È­ÇÐÀûÀ¸·Î ºÒȰ¼ºÀÌ´Ù.
°í°¨µµ¸¦ À§ÇØ ³ôÀº ±â°èÀû Q-factor¸¦ °®°Ô ÇÏ¿´´Ù.

´õ ¸¹Àº Á¤º¸°¡ ÇÊ¿äÇϸé ÀϹݼ³¸íÀ» º¸½Ã¸é µË´Ï´Ù.

LFM ±â¼ú ÀÚ·á

¡¡ Typical Value Specified Values
Thickness(µm)

1

0.1 - 2.0

Mean Width(µm)

48

40 - 55

Length(µm)

225

215 - 235

Force Constant(N/m)

0.2

0.01 - 1.87

Resonance Frequency(KHz)

23

1 - 57

LFM ÁÖ¹® ÄÚµå , Æ÷Àå´ÜÀ§ ,ÄÚÆÃ 

LFM ¼¾¼­´Â 6°¡Áö ÇüÅÂÀÇ ¼±Àû ´ÜÀ§°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¼±Åûç¾çÀ¸·Î ĵƼ·¹¹öÀÇ ¹Ý»ç¸é¿¡ ÄÚÆÃÀ» ÇÑ ¼¾¼­¿Í Àüü¸¦ PtIr5ÄÚÆÃÀ» ÇÑ °Íµµ À¯¿ëÇÕ´Ï´Ù. 

ÁÖ¹® ÄÚµå

Æ÷Àå´ÜÀ§

Data Sheet

ÄÚÆÃ

ÁÖ¹®¼ö·® ±¸¸Å
  LFM-10

10

¸ðµç¼¾¼­ ¾ÈÇÔ °³
  LFM-20

20

¸ðµç¼¾¼­ ¾ÈÇÔ °³

  LFM-50

50

¾øÀ½

¾ÈÇÔ °³

  LFM-100

100

¾øÀ½

¾ÈÇÔ °³

  LFM-200

200

¾øÀ½

¾ÈÇÔ °³

  LFM-W

385

32°³ ¼¾¼­

¾ÈÇÔ °³

NANOSENSORS™ / POINTPROBE¢ç ´Â NanoWorld AG ÀÇ µî·Ï»óÇ¥ÀÔ´Ï´Ù.