 |
|
LFM |
Lateral
force microscopy |
¸¶Âû·Â ÃøÁ¤ ÁÖ»ç Žħ Çö¹Ì°æ(lateral force microscopy)¿¡´Â
Æ÷ÀÎÆ®ÇÁ·ÎºêÀÇ LFM ¼¾¼¸¦ »ç¿ëÇÏ¸é µË´Ï´Ù. ÀÌ ¼¾¼´Â
±ØÈ÷ ºÎµå·´°í ¾ã¾Æ¼ Ãø¹æÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇÏ´Â ÈûÀ»
°í°¨µµ·Î °¨ÁöÇϵµ·Ï ÃÖÀûȵǾî ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶Ç Ưº°ÇÑ
ÄÚÆÃ°ü·Ã Á¤º¸´Â ÄÚÆÃ À»
Âü°íÇÏ½Ã¸é µË´Ï´Ù.
LFM ÇÁ·ÎºêÀÇ ¸ð¾ç°ú Ư¡
• Åë»óÀûÀÎ
ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº 10nmÀÌÇÏ(SuperSharpSiliconÀº Åë»ó 2nmÀÌÇÏ)
• ÆÁ, ĵƼ·¹¹ö Ȧ´õ°¡
Çѵ¢¾î¸®·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.
• ¼¾¼ÀÇ ÁÖ¿äÇÑ Àç·á´Â
½Ç¸®ÄÜ ´Ü°áÁ¤ÀÌ´Ù.
• Àü±â(Á¤Àü) ÃæÀüÀ»
¹æÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© µµÇÎ ³óµµ°¡ ³ô´Ù.
• ÈÇÐÀûÀ¸·Î
ºÒȰ¼ºÀÌ´Ù.
• °í°¨µµ¸¦ À§ÇØ ³ôÀº
±â°èÀû Q-factor¸¦ °®°Ô ÇÏ¿´´Ù.
|
 |
´õ ¸¹Àº
Á¤º¸°¡ ÇÊ¿äÇϸé ÀϹݼ³¸íÀ» º¸½Ã¸é
µË´Ï´Ù.
LFM
±â¼ú ÀÚ·á |
¡¡ |
Typical
Value |
Specified
Values |
Thickness(µm) |
1
|
0.1 - 2.0
|
Mean
Width(µm) |
48
|
40 - 55
|
Length(µm) |
225
|
215 - 235
|
Force
Constant(N/m) |
0.2
|
0.01 - 1.87
|
Resonance
Frequency(KHz) |
23
|
1 - 57
|
LFM
ÁÖ¹® ÄÚµå , Æ÷Àå´ÜÀ§ ,ÄÚÆÃ
LFM ¼¾¼´Â
6°¡Áö ÇüÅÂÀÇ ¼±Àû ´ÜÀ§°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ
¼±Åûç¾çÀ¸·Î ĵƼ·¹¹öÀÇ ¹Ý»ç¸é¿¡ ÄÚÆÃÀ» ÇÑ
¼¾¼¿Í Àüü¸¦ PtIr5ÄÚÆÃÀ»
ÇÑ °Íµµ À¯¿ëÇÕ´Ï´Ù. |

NANOSENSORS™ /
POINTPROBE¢ç ´Â NanoWorld AG ÀÇ
µî·Ï»óÇ¥ÀÔ´Ï´Ù.
|