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Non Contact / Tapping™ Mode
Sensors
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Non
Contact Mode 센서종류
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1.
NCH
시리즈
:
Non-contact
/ Tapping™ mode - High
resonance frequency → 일반적으로
사용하는 센서
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ATEC-NC
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AdvancedTEC™ Silicon-SPM-Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode |
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PPP-NCH
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Silicon-SPM-Sensor for non-contact- / tapping-mode™ |
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PPP-NCHR
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Silicon-SPM-Sensor
for non-contact- / tapping-mode™ with reflex coating |
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PPP-NCVH |
Point Probe® Plus Non-Contact/Tapping Mode -
Very High Resonance Frequency |
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PPP-QNCHR |
POINTPROBE-PLUS® Silicon-SPM-Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode, High quality
factor detector side: Al-coating |
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PPP-NCHPt |
Silicon-SPM-Sensor
for non-contact- / tapping-mode™ with Pt/Ir-coating on
detector- and tip-side |
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TL-NCH |
Tipless silicon cantilever based on POINTPROBE®
technology |
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PPP-RT-NCHR |
POINTPROBE-PLUS® Silicon-SPM-Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode, tip rotated by
180°, detector side: Al-coating3 |
| SSS-NCH |
SUPER SHARP SILICON™-SPM-Sensor for non-contact- / tapping-mode™ |
| SSS-NCHR |
SUPERSHARPSILICON™-SPM-Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode, with
SUPERSHARPSILICON tip detector side: Al-coating |
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AR5-NCH |
HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever
for non-contact- / tapping-mode,
HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio ≥ 5:1 |
| AR5-NCHR |
Silicon-SPM-Sensor
for non-contact- / tapping-mode™, HIGH ASPECT RATIO
tip, aspect ratio >= 5:1,detector side: Al-coating
(optional available without coating) |
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AR5T-NCH |
TILT COMPENSATED HIGH ASPECT RATIO Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode, HIGH
ASPECT RATIO tip, aspect ratio ≥ 5:1, tilt compensation 13° |
| AR5T-NCHR |
TILT
COMPENSATED HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever for
non-contact- / tapping-mode™, HIGH ASPECT RATIO tip,
aspect ratio >= 5:1, tilt compensation 13°, detector
side: Al-coating (optional available without coating) |
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AR10-NCH |
HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever
for non-contact- / tapping-mode
HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio ≥ 10:1 |
| AR10-NCHR |
HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever
for non-contact- / tapping-mode
HIGH ASPECT RATIO tip, aspect ratio ≥ 10:1, detector side:
Al-coating |
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AR10T-NCH |
TILT COMPENSATED HIGH ASPECT RATIO Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode, HIGH
ASPECT RATIO tip, aspect ratio ≥ 10:1, tilt compensation 13° |
| AR10T-NCHR |
TILT COMPENSATED HIGH ASPECT RATIO Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode, HIGH
ASPECT RATIO tip, aspect ratio ≥ 10:1, tilt compensation 13°,
detector side: Al-coating |
| DT-NCHR |
DIAMOND
COATED Sensor, silicon cantilever for non-contact- /
tapping-mode™, detector side: Al-coating (optional
available without coating), tip side: Diamond-coating |
| CDT-NCHR |
CONDUCTIVE
DIAMOND COATED Sensor, silicon cantilever for non-contact- /
tapping-mode™, detector side: Al-coating, tip side:
conductive Diamond-coating |
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CDTP-NCHR |
CONDUCTIVE DIAMOND COATED PLUS Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode, detector side:
Al-coating, tip side: conductive Diamond-coating plus |
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2. NCL
시리즈 :
Non-contact
/ Tapping™ mode - Long
cantilever
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PPP-NCL |
Silicon-SPM-Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™,
long cantilever |
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PPP-NCLR |
Silicon-SPM-Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™,
long cantilever, detector side: Al-coating |
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PPP-NCLPt |
Silicon-SPM-Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™,
long cantilever, with Pt/Ir-coating on detector- and
tip-side |
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TL-NCL |
Tipless silicon cantilever based on POINTPROBE®
technology |
| SSS-NCL |
SuperSharpSilicon-SPM-Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode™,
long cantilever,with SuperSharpSilicon tip |
| SSS-NCLR |
SUPERSHARPSILICON™-SPM-Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode, long cantilever,
with SUPERSHARPSILICON tip detector side: Al-coating |
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AR5-NCL |
HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever
for non-contact- / tapping-mode, long cantilever, HIGH
ASPECT RATIO tip, aspect ratio ≥ 5:1 |
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AR5-NCLR |
HIGH ASPECT RATIO Sensor, silicon cantilever
for non-contact- / tapping-mode, long cantilever, HIGH
ASPECT RATIO tip, aspect ratio ≥ 5:1,
detector side: Al-coating |
| DT-NCLR |
Diamond
Coated Sensor,silicon cantilever for non-contact- /
tapping-mode™, long cantilever,detector side:
Al-coating (optional available without coating),tip side:
Diamond-coating |
| CDT-NCLR |
Conductive
Diamond Coated Sensor,silicon cantilever for non-contact- /
tapping-mode™, long cantilever,detector side:
Al-coating,tip side: conductive Diamond-coating |
3.
SEIH
시리즈 : SEIKO
microscopes - Non-contact / Tapping™ mode High
force constant
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PPP-SEIH |
Silicon-SPM-Sensor,silicon
cantilever for non-contact / tapping-mode™, special
type A |
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PPP-SEIHR |
Silicon-SPM-Sensor,silicon
cantilever for non-contact / tapping-mode™, special
type A,detector side: Al-coating |
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SSS-SEIH |
SUPERSHARPSILICON™-SPM-Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode, for Seiko
Instruments AFM, with SUPERSHARPSILICON tip |
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SSS-SEIHR |
SUPERSHARPSILICON™-SPM-Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode, for Seiko
Instruments AFM, with SUPERSHARPSILICON tip
detector side: Al-coating |
4.
ZEIH
시리즈 : ZEISS
Veritekt microscopes - Non-contact / Tapping™ mode - High
force constant
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PPP-ZEIHR |
Silicon-SPM-Sensor,silicon
cantilever for non-contact / tapping-mode™, special
type B,detector side: Al-coating |
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Non
Contact/Tapping™
Mode 센서는...
인력모드(Attractive mode) , 동적모드(Dynamic mode)
, AC모드 , Close Contact Mode 또는 Intermittent Mode 라고도
불려지는 비접촉모드(Non contact mode) , 탭핑모드(TappingTM
mode) 원자현미경에서는 포인트 프로브센서 NCH, NCL,
SEIHR 및 ZEIHR 이 적합합니다. 이 센서는 뛰어난 감도와
빠른 주사능력을 가지며 높은 동작 안정성을 가집니다.
이 센서들은 극히 높은 해상도의 이미지를 얻을 수 있는 SuperSharp
Silicon(SSS)
센서 ,거의 수직에 가까운 측벽이 측정가능한 High
Aspect Ratio(HAR)센서 그리고 단단한 물질을 뚫거나 마모
시험을 하는 등 시료와 팁사이에 극히 높은 힘을 필요로 하는
용도에 적합한 다이아몬드로 표면 처리를 한 Diamond
Coated(DT) 센서와 같은 특별한 형식의 센서로도 공급하고
있습니다.
NCH 센서는
캔티레버의 길이가 125 µm 이며
대부분의 상업용 원자현미경에 일반적으로
사용되는 센서입니다. 이 센서는 뛰어난
감도와 빠른 주사능력을 가지며 높은 동작
안정성을 가집니다. 고주파용으로 최대 주사
속도로 이미지를 얻을 수 있습니다.
NCL 센서는
주사 탐침 현미경의 궤환회로(feeback 회로)가
높은 주파수(예:400 KHz)에서 동작하지 않거나
검출장치가 최소 캔티레버의 길이를 125
µm를 넘는 것을 필요로 하는 경우에
적합합니다. 이 센서는 뛰어난 감도와 빠른
주사능력을 가지며 높은 동작 안정성을 가집니다.
고주파용 NCH센서에 비하여 최대 주사 속도는 다소
떨어집니다.
SEIHR 센서는
Seiko Instruments 주사 탐침 현미경의 비 접촉
모드(Non Contact Mode)용으로 개발된 센서입니다.
ZEIHR 센서는 Zeiss
Veritekt 주사 탐침 현미경의 스텝 모드(Non Contact
Mode)용으로 개발된 센서입니다.
필요에 따라 특별한
표면처리(코팅)
의
제품도 제공됩니다.
센서에 대한 기술자료,
주문, 포장단위, 코팅에 대한 관한 정보는 각
센서의 개별 자료를 참고하십시요. 개별 자료를
보시려면 윗면의 종류에서 해당 센서를
선택하시거나 아래의 Quick Selection Table를
이용하시면 됩니다. 아래와 같은 센서에 대한
추가적인 특징이 있습니다.
Non
Contact
Mode 센서의 모양과 특징
• 통상적인 팁의 반경은 10nm이하(SuperSharp
Silicon은 통상 2nm이하)
•
팁, 캔티레버 홀더가 한덩어리로 되어 있다.
•
센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다.
• 전기(정전) 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가
높다.
• 화학적으로 불활성이다.
• 고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다. |
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Applications
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1. NCH 센서의 응용으로
실리콘 표면에서의 실제 원자 해상도
UHV에서 포인트 프로브
센서를 가지고 측정한 Si (111) 7x7의 Non contact
AFM image(Omicron 증정) |
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Si(111) 7x7의 AFM image ,
Image 크기 10x10 nm2
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2.
NCL 센서의 응용으로 Insulator상에서의 실제
원자 해상도
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포인트 프로브 센서 NCL센서를
가지고 측정한 NaCl(001)의 Non contact AFM
image(University of Basel 증정) |
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NaCl(001)의 AFM image ,
Image 크기 4.5x4.0 nm2
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여기에 없는 특별한 주문이나 더 자세한 내용은
SXM
센서를 위한 일반적인 설명
을
참조바랍니다.
NANOSENSORS™ /
POINTPROBE® 는 NanoWorld AG 의
등록상표입니다.
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