SSS-SEIH
SuperSharpSiliconTM - SEIKO mictoscopes - Non-contact / TappingTM mode - High force constant

NANOSENSORS™ SSS-SEIH ¼¾¼­´Â Seiko Instruments microscope ¿øÀÚÇö¹Ì°æ¿¡¼­ ³­ÄÜÅØ¸ðµå ¿ëÀ¸·Î ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÀϹÝÀûÀÎ ¿ëµµ·Î NANOSENSORS™ SEIH(Seiko Instruments / high force constant) ) ¸¦ ÃßõÇÕ´Ï´Ù. ZEIH ŸÀÔÀÇ ¼¾¼­¿¡ ºñÇÏ¿© force constant °¡ ÈξÀ ÀÛ½À´Ï´Ù. ³ª³ë ±¸Á¶ ¿¬±¸ ¶Ç´Â ³ª³ë°ÅÄ¥±â ¿¬±¸¿¡¼­ °³¼±µÈ ÇØ»óµµ¸¦ ¾òµµ·ÏÇϱâ À§ÇÏ¿© ÀÌ SSS(SuperSharpSilicon) ¼¾¼­ÀÇ ÆÁÀ» ºñ±³ÇÒ ¼ö ¾øÀÌ »ÏÁ·ÇÏ°Ô ¸¸µé±â À§ÇÏ¿© »õ·Î¿î Áøº¸µÈ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÏ¿´½À´Ï´Ù.¡¡

¡¡

SuperSharpSilicon ¼¾¼­ÀÇ ÀÀ¿ë»ç·Ê 

<°³¼±µÈ ÇØ»óµµÀÇ image>

¾Æ·¡ À̹ÌÁö´Â "A" ¶ó´Â ±ÛÀÚ¸¦ Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê DT-NCHR ¼¾¼­¸¦ °¡Áö°í ³ª³ë ½ºÆ®·°Ãĸµ¿¡ ÀÇÇØ ¸¸µç °ÍÀÌ´Ù.  À̹ÌÁö´Â DT-NCHR ¼¾¼­·Î Àε§Å×À̼ÇÈÄ¿¡ Ç¥ÁØ Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê NCH ¼¾¼­·Î ȹµæÇÑ °ÍÀ¸·Î ÆÁÀÇ Áö¸§ÀÌ DT_NCHR ¼¾¼­·Î ÀÎÅÙÆÃÇÏ¿© ¾òÀº ±¸¸Ûµé º¸´Ù Ä¿¼­ ±¸¸ÛµéÀÇ bulged sidewall µé¸¸ °üÂûµÈ´Ù.  ¿À¸¥ÂÊ À̹ÌÁö´Â SuperSharpSilicon ¼¾¼­ SSS-NCH ¼¾¼­·Î ȹµæÇÑ °ÍÀ¸·Î ÆÁÀÇ ´õ »ÏÁ·ÇÏ°Ô µÇ¾î À־ ±¸¸ÛÀÇ ½ÇÁ¦ÀÇ ³ÐÀÌ, ±íÀÌ, ±×¸®°í bulged sidewall µéÀÌ °üÂûµÈ´Ù. 

Ç¥ÁØ NANOSENSORS™ÀÇ NCH ¼¾¼­·Î ȹµæÇÑ À̹ÌÁö(¿ÞÂÊ)¿Í SuperSharpSilicom ¼¾¼­ SSS-NCH ¼¾¼­·Î ȹµæÇÑ À̹ÌÁöÀÌ´Ù


SSS-SEIH ÇÁ·ÎºêÀÇ ¸ð¾ç°ú Ư¡

Åë»óÀûÀÎ ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº 2nmÀÌÇÏ
ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº 5nmÀÌÇÏ º¸ÁõÇÑ´Ù.
Åë»óÀûÀ¸·Î ÆÁÀÇ ¼±´Ü¿¡¼­ 200 nm ¹üÀ§ÀÇ Aspect Ratio´Â 3 ´ë 1 Á¤µµÀÔ´Ï´Ù.
¹Ý¿øÃß°¢Àº ÆÁ ³¡ºÎºÐ 200 nm¿¡¼­ 10¢ª º¸´Ù ÁÁ´Ù.
ÆÁÀÇ ³ôÀÌ´Â 10 ¥ìm¿¡¼­ 15 ¥ìm »çÀÌ·Î »ó´çÈ÷ °ÅÄ£ ½Ã·á Ç¥¸éÀ» ÃøÁ¤ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÆÁ, ĵƼ·¹¹ö Ȧ´õ°¡ Çѵ¢¾î¸®·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.
°í°¨µµ¸¦ À§ÇØ ³ôÀº ±â°èÀû Q-factor¸¦ °®°Ô ÇÏ¿´´Ù.
¼¾¼­ÀÇ ÁÖ¿äÇÑ Àç·á´Â ½Ç¸®ÄÜ ´Ü°áÁ¤ÀÌ´Ù
Á¤Àü ÃæÀüÀ» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© µµÇÎ ³óµµ°¡ ³ô´Ù.
È­ÇÐÀûÀ¸·Î ºÒȰ¼ºÀÌ´Ù.

´õ ¸¹Àº Á¤º¸°¡ ÇÊ¿äÇϸé ÀϹݼ³¸í À» º¸½Ã¸é µË´Ï´Ù.

¡¡
SSS-SEIH ±â¼ú ÀÚ·á

¡¡

Typical Value

Specified Values

Thickness /¥ìm

5

4.0 - 6.0

Mean Width /¥ìm

33

30 - 45

Length /¥ìm

225

215 - 235

Force Constant /(N/m)

15

5 - 37

Resonance Frequency /kHz

130

96 - 175


´õ ¸¹Àº Á¤º¸°¡ ÇÊ¿äÇϸé ÀϹݼ³¸í , SuperSharpSilicon ¼¾¼­ ÀÇ ¼³¸í, High Aspect Ratio ¼¾¼­ ÀÇ ¼³¸í, ±×¸®°í Diamond Coated ¼¾¼­ ÀÇ ¼³¸íÀ» Âü°íÇÏ½Ã¸é µË´Ï´Ù.


SSS-SEIH ÁÖ¹®ÄÚµå, Æ÷Àå´ÜÀ§, ÄÚÆÃ

  SSS-SEIH ´Â ´ÙÀ½ ÇüÅÂÀÇ ¼±Àû ´ÜÀ§°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÁÖ¹® ÄÚµå Æ÷Àå´ÜÀ§ Data Sheet ÄÚÆÃ
SSS-SEIH-10#

10

¸ðµç ¼¾¼­ ¾øÀ½
SSS-SEIH-20#

20

¸ðµç ¼¾¼­ ¾øÀ½
SSS-SEIH-50 50 ¾øÀ½ ¾øÀ½
SSS-SEIH-W* > 370 32°³ ¼¾¼­±îÁö ¾øÀ½

NANOSENSORS™ / POINTPROBE´Â NanoWorld AG ÀÇ µî·Ï»óÇ¥ÀÔ´Ï´Ù.