SSS-SEIH |
SuperSharpSiliconTM
- SEIKO mictoscopes -
Non-contact / TappingTM
mode - High force constant |
NANOSENSORS™ SSS-SEIH ¼¾¼´Â Seiko Instruments microscope
¿øÀÚÇö¹Ì°æ¿¡¼
³ÄÜÅØ¸ðµå ¿ëÀ¸·Î
¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ ÀϹÝÀûÀÎ ¿ëµµ·Î
NANOSENSORS™
SEIH(Seiko
Instruments / high force constant) ) ¸¦
ÃßõÇÕ´Ï´Ù. ZEIH ŸÀÔÀÇ ¼¾¼¿¡
ºñÇÏ¿© force constant °¡ ÈξÀ
ÀÛ½À´Ï´Ù. ³ª³ë ±¸Á¶
¿¬±¸ ¶Ç´Â ³ª³ë°ÅÄ¥±â
¿¬±¸¿¡¼ °³¼±µÈ
ÇØ»óµµ¸¦ ¾òµµ·ÏÇϱâ
À§ÇÏ¿© ÀÌ SSS(SuperSharpSilicon) ¼¾¼ÀÇ
ÆÁÀ» ºñ±³ÇÒ ¼ö ¾øÀÌ
»ÏÁ·ÇÏ°Ô ¸¸µé±â
À§ÇÏ¿© »õ·Î¿î Áøº¸µÈ
±â¼úÀ»
Àû¿ëÇÏ¿´½À´Ï´Ù.¡¡
¡¡
SuperSharpSilicon
¼¾¼ÀÇ ÀÀ¿ë»ç·Ê
<°³¼±µÈ ÇØ»óµµÀÇ image>
¾Æ·¡ À̹ÌÁö´Â "A" ¶ó´Â ±ÛÀÚ¸¦ Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê
DT-NCHR ¼¾¼¸¦ °¡Áö°í ³ª³ë ½ºÆ®·°Ãĸµ¿¡ ÀÇÇØ ¸¸µç
°ÍÀÌ´Ù. À̹ÌÁö´Â DT-NCHR ¼¾¼·Î Àε§Å×À̼ÇÈÄ¿¡ Ç¥ÁØ Æ÷ÀÎÆ® ÇÁ·Îºê NCH ¼¾¼·Î ȹµæÇÑ °ÍÀ¸·Î ÆÁÀÇ Áö¸§ÀÌ
DT_NCHR ¼¾¼·Î ÀÎÅÙÆÃÇÏ¿© ¾òÀº ±¸¸Ûµé º¸´Ù Ä¿¼ ±¸¸ÛµéÀÇ bulged sidewall µé¸¸ °üÂûµÈ´Ù. ¿À¸¥ÂÊ À̹ÌÁö´Â
SuperSharpSilicon
¼¾¼ SSS-NCH ¼¾¼·Î ȹµæÇÑ °ÍÀ¸·Î ÆÁÀÇ ´õ »ÏÁ·ÇÏ°Ô µÇ¾î ÀÖ¾î¼ ±¸¸ÛÀÇ ½ÇÁ¦ÀÇ ³ÐÀÌ, ±íÀÌ, ±×¸®°í bulged
sidewall µéÀÌ °üÂûµÈ´Ù. |
 |
Ç¥ÁØ NANOSENSORS™ÀÇ NCH
¼¾¼·Î ȹµæÇÑ À̹ÌÁö(¿ÞÂÊ)¿Í SuperSharpSilicom ¼¾¼ SSS-NCH ¼¾¼·Î ȹµæÇÑ À̹ÌÁöÀÌ´Ù |
|
|
SSS-SEIH ÇÁ·ÎºêÀÇ ¸ð¾ç°ú Ư¡
• Åë»óÀûÀÎ
ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº 2nmÀÌÇÏ
• ÆÁÀÇ ¹Ý°æÀº 5nmÀÌÇÏ º¸ÁõÇÑ´Ù.
• Åë»óÀûÀ¸·Î ÆÁÀÇ ¼±´Ü¿¡¼ 200 nm ¹üÀ§ÀÇ Aspect
Ratio´Â 3 ´ë 1 Á¤µµÀÔ´Ï´Ù.
• ¹Ý¿øÃß°¢Àº
ÆÁ ³¡ºÎºÐ 200 nm¿¡¼ 10¢ª
º¸´Ù ÁÁ´Ù.
• ÆÁÀÇ
³ôÀÌ´Â 10 ¥ìm¿¡¼ 15 ¥ìm »çÀÌ·Î »ó´çÈ÷ °ÅÄ£
½Ã·á Ç¥¸éÀ» ÃøÁ¤ ÇÒ
¼ö ÀÖ´Ù.
• ÆÁ,
ĵƼ·¹¹ö Ȧ´õ°¡
Çѵ¢¾î¸®·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.
• °í°¨µµ¸¦ À§ÇØ ³ôÀº
±â°èÀû Q-factor¸¦ °®°Ô ÇÏ¿´´Ù.
• ¼¾¼ÀÇ
ÁÖ¿äÇÑ Àç·á´Â ½Ç¸®ÄÜ
´Ü°áÁ¤ÀÌ´Ù
• Á¤Àü
ÃæÀüÀ» ¹æÁöÇϱâ
À§ÇÏ¿© µµÇÎ ³óµµ°¡
³ô´Ù.
• ÈÇÐÀûÀ¸·Î
ºÒȰ¼ºÀÌ´Ù.
|
 |
´õ ¸¹Àº
Á¤º¸°¡ ÇÊ¿äÇϸé
ÀϹݼ³¸í
À» º¸½Ã¸é
µË´Ï´Ù.
¡¡
SSS-SEIH
±â¼ú ÀÚ·á |
¡¡ |
Typical Value
|
Specified Values
|
Thickness /¥ìm |
5 |
4.0 - 6.0 |
Mean Width /¥ìm |
33 |
30 - 45 |
Length /¥ìm |
225 |
215 - 235 |
Force Constant /(N/m) |
15 |
5 - 37 |
Resonance Frequency /kHz |
130 |
96 -
175 |
SSS-SEIH
ÁÖ¹®ÄÚµå, Æ÷Àå´ÜÀ§, ÄÚÆÃ
SSS-SEIH ´Â ´ÙÀ½ ÇüÅÂÀÇ ¼±Àû ´ÜÀ§°¡
ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
ÁÖ¹® ÄÚµå |
Æ÷Àå´ÜÀ§ |
Data Sheet |
ÄÚÆÃ |
SSS-SEIH-10# |
10
|
¸ðµç
¼¾¼ |
¾øÀ½ |
SSS-SEIH-20# |
20
|
¸ðµç
¼¾¼ |
¾øÀ½ |
SSS-SEIH-50 |
50 |
¾øÀ½ |
¾øÀ½ |
SSS-SEIH-W* |
> 370 |
32°³
¼¾¼±îÁö |
¾øÀ½ |
NANOSENSORS™
/ POINTPROBE™´Â NanoWorld AG
ÀÇ µî·Ï»óÇ¥ÀÔ´Ï´Ù.
|