SuperSharpSilicon 센서의 응용사례 

<개선된 해상도의 image>

아래 이미지는 "A" 라는 글자를 포인트 프로브 DT-NCHR 센서를 가지고 나노 스트럭쳐링에 의해 만든 것이다.  이미지는 DT-NCHR 센서로 인덴테이션후에 표준 포인트 프로브 NCH 센서로 획득한 것으로 팁의 지름이 DT_NCHR 센서로 인텐팅하여 얻은 구멍들 보다 커서 구멍들의 bulged sidewall 들만 관찰된다.  오른쪽 이미지는 SuperSharpSilicon 센서 SSS-NCH 센서로 획득한 것으로 팁의 더 뾰족하게 되어 있어서 구멍의 실제의 넓이, 깊이, 그리고 bulged sidewall 들이 관찰된다. 

• 통상적인 팁의 반경은 2nm이하
• 팁의 반경은 5nm이하 보증한다.
• 통상적으로 팁의 선단에서 200 nm 범위의 Aspect Ratio는 3 대 1 정도입니다.
• 반원추각은 팁 끝부분 200 nm에서 10˚ 보다 좋다.
• 팁의 높이는 10 μm에서 15 μm 사이로 상당히 거친 시료 표면을 측정 할 수 있다.
• 팁, 캔티레버 홀더가 한덩어리로 되어 있다.
• 고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다.
• 센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다
• 정전 충전을 방지하기 위하여 도핑 농도가 높다.
• 화학적으로 불활성이다.

더 많은 정보가 필요하면 일반설명 , SuperSharpSilicon 센서 의 설명, High Aspect Ratio 센서 의 설명, 그리고 Diamond Coated 센서 의 설명을 참고하시면 됩니다.