SSR-NCHR
SCANNING SPREADING RESISTANCE - Non-contact/Tapping™ mode - High resonance frequency - Reflex Coating

NANOSENSORS™ SSR-NCHR 센서는 인력모드(Attractive mode)또는  동적모드(Dynamic mode)라고도 불려지는 비접촉모드(Non contact mode) 또는 탭핑모드(Tapping^TM mode) 주사 탐침 현미경용에 적합하게 설계되었습니다. 이 센서는 뛰어난 감도와 빠른 주사능력을 가지며 높은 동작 안정성을 가집니다. 팁과 샘플간에 강한 접촉력이 요구되는 응용분야에 적합하도록 팁면에 진성 다이아모드 코팅을 하였습니다. 이 코팅의 특징은 다이아몬드의 뛰어난 강도 특성을 갖고 있어서 극히 높은 내마모성을 갖습니다. 통상적으로 팁의 반경은 100 nm 에서 200 nm 사이입니다. 10 nm 영역에서의 나노거칠기를 갖고 있어 평평한 표면에서의 해상도를 개선시켜 줍니다.
이 CDT 모델은 Boron으로 도핑을 하여서 다이아모드 필름이 전도성을 갖습니다. 이것은 Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM), Tunneling AFM (Conducting AFM) 및 Scanning Capacitance Microscopy (SCM)과 같은 몇가지의 응용분야에 사용됩니다..

SSR-NCHR 팁의 특징 • 아래와 같은 라만 스펙트럼을 가지는 다이아몬드의 뛰어난 경도를 그대로 갖추고 있는 진성다이아몬드 다결정체로 캔터레버의 팁면을  코팅하였습니다.  • 팁, 캔티레버 홀더가 한덩어리로 되어 있다. • 센서의 주요한 재료는 실리콘 단결정이다. • 화학적으로 불활성이다. • 고감도를 위해 높은 기계적 Q-factor를 갖게 하였다. • 다이아몬드 층의 두께도 약 100 nm 이다. • 거시적인 팁의 반경은 약 100 nm에서 200nm 이다. 그렇지만 팁은 흔히 평평한 표면에서 해상도를 개선하는 10 nm 영역에서 나노 거칠기를 나타낸다. • 캔티레버 뒤면에서의 레이저 빔의 반사도를 증가시키기 위하여 반사 코팅을 합니다. • CDT 모델에서 다이아몬드 코팅은 뛰어난 도전성(< 10 kOhm)을 위하여 강하게 도핑이 됩니다. 거시적인 저항(resistivity)은 0.003 - 0.005 Wcm 입니다.

반사면 코팅(Reflex Coating) Reflex 코팅은 캔티레버의 뒷면에 약 30 nm 두께로 알리미늄 코팅을 한 것이다. 이렇게 하여 레이저 빔의 반사도를 약 2.5배 가량 개선하고 캔티레버내에서의 빛의 간섭이 되지 않게 한다. 코팅 스트레스에 의한 밴딩이 2° 이하로 거의 스트레스를 받지 않습니다. 반사면의 코팅(Reflex coating)은  응용분야가 화학적으로 호환성이 있다면(문제가 안된다면) CONT, LFM, FM 과 같은 얇은 캔티레버의 경우에는 강력히 추천됩니다.

더 많은 정보가 필요하면 일반설명을 보시면 됩니다.

　

SSR-NCHR 기술 자료

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