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SuperSharpSilicon Sensors
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SuperSharpSilicon 센서의 종류
| SSS-NCH |
SUPER SHARP SILICON™-SPM-Sensor
for non-contact- / tapping-mode™ |
| SSS-NCHR |
SUPERSHARPSILICON™-SPM-Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode, with
SUPERSHARPSILICON tip detector side: Al-coating |
| SSS-NCL |
SuperSharpSilicon-SPM-Sensor, silicon
cantilever for non-contact- / tapping-mode™, long
cantilever,with SuperSharpSilicon tip |
| SSS-NCLR |
SUPERSHARPSILICON™-SPM-Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode, long cantilever,
with SUPERSHARPSILICON tip
detector side: Al-coating |
| SSS-NCLR |
SuperSharpSiliconTM-SPM-Sensor,silicon
cantilever for non-contact / tapping-mode™, special type
A,with SuperSharpSilicon tip |
| SSS-NCLR |
SUPERSHARPSILICON™-SPM-Sensor,
silicon cantilever for non-contact- / tapping-mode, for Seiko
Instruments AFM, with SUPERSHARPSILICON tip
detector side: Al-coating |
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SuperSharpSilicon 센서는... NANOSENSORS™
에서는 나노구조 및 마이크로 거칠기의
개선된 해상도를 위하여 새로운 진보된 팁 생산공정을
개발하여 이 공정을 통하여 기존의 팁의 반경보다 훨씬
뛰어난 팁의 반경 2 nm <우측 그림> 이하인 극히
뾰족한 팁을 만들고 있다. 나노 센서의 이러한
새로운 것에 대한 노력은 팁의 연구 개발 및 생산
기술에서 세계를 선도하고 있습니다. supersharpsilicom
팁들은 잘 만들어진 포인트프로브 센서를 기본으로
하여 만듭니다. 따라서 센서의 기하학적인 모양은
포인트 프로브 센서들과 같습니다. (더
많은 정보는 포인트 프로브 센서의 일반사항을
참조하십시오.) 캔티레버의 기계적인 특성들은 각
SuperSharp Silicon 센서 각각의 생산관련 사항에서 설명되어
있습니다. 이들 속성을 진보된 SuperSharpSilicon 팁의
모양과 관련사항입니다. SuperSharpSilicon 센서는 포인트 프로브 비접촉식/탭핑모드용
(NCH 또는
SEIHR)를
기본으로 하여 만듭니다. 이것들의 기계적인 특성은 매우
높은 동작 안정도를 갖고 있어서 고속 주사가 가능하다.
더 많은
정보는 포인트 프로브 센서의 NCH
, SEIHR
,및 일반
설명을 참조하십시오.
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<유용한 센서 타입>
이 SuperSharpSilicon™ 팁 모양은 아래와 같이거의
모든 non contact / TappingMode™ 센서에
유용합니다.:
SSS-NCH
SSS-NCL
SSS-SEIH
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SuperSharpSilicon 센서의 특징
• 통상 supersharpsilicom 팁의 반경을 약 2 nm보다 좋다.
• 보증되는 팁의 반경이 5 nm 이하이다 (보증되는 생산율:80%)
• 반원추각은 팁 끝부분 200 nm에서 10˚ 보다 좋다.
• 팁의 높이는
10 µm에서 15 µm 사이로 상당히 거친 시료 표면을 측정 할 수 있다.
더 많은
정보는 NANOSENSORS™의 NCH
및 일반
설명을 참조하십시오.
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SuperSharpSilicon
센서의 응용사례 <개선된 해상도의 image>
아래 이미지는 "A" 라는 글자를 포인트 프로브 DT-NCHR
센서를 가지고
나노 스트럭쳐링에 의해 만든 것이다.
이미지는 DT-NCHR 센서로
인덴테이션후에 표준 포인트 프로브 NCH 센서로 획득한
것으로 팁의 지름이 DT_NCHR 센서로 인텐팅하여 얻은 구멍들 보다 커서
구멍들의 bulged sidewall 들만 관찰된다. 오른쪽 이미지는
SuperSharpSilicon 센서 SSS-NCH
센서로 획득한 것으로 팁의 더 뾰족하게 되어 있어서
구멍의 실제의 넓이, 깊이, 그리고 bulged sidewall 들이 관찰된다.
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표준 NANOSENSORS™의 NCH 센서로 획득한
이미지(왼쪽)와 SuperSharpSilicom 센서 SSS-NCH
센서로 획득한 이미지이다.
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NANOSENSORS™ /
POINTPROBE® 는 NanoWorld AG 의
등록상표입니다.
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